На виробничій лінії немає жодних можливостей для помилок. Навіть зміна товщини фоторезисту на 2% чи наявність одного-єдиного „мікромосту“ може зруйнувати цілий партий товару. Саме під час термічної обробки – як при м’якому, так і при жорсткому нагріванні – визначається якість продукції. Стандартні лампи мають певні недоліки: вони створюють „гарячі точки“ та виділяють частинки. Тож необхіден контроль на рівні самої пластини, щоб досягти потрібних параметрів процесу, а не просто дотримуватися допусків.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили лампи для сушіння пластин з точністю температури ±0,1°C по всій поверхні пластини. Контроль здійснюється за допомогою замкнутого контуру, що забезпечує стабільність параметрів навіть при суворих умовах температурного режиму. Емітери ламп придатні для використання в чистих приміщеннях (клас 1–100); після налаштування вони не виділяють жодних частинок. Короткохвильове інфрачервоне випромінювання забезпечує швидке та безконтактне нагрівання, що дозволяє уникнути теплових затримок та не пошкодити делікатні елементи конструкції. Рівень вихідної потужності залишається стабільним протягом 5,000+ годин. Лампи можна легко встановлювати в стандартні порти – з заданим напругою, розмірами та типом роз’ємів.
Чому це корисно для літографії
У процесі літографії фоторезист потребує точної термічної обробки для ефективного видалення розчинника та для зменшення шорсткості країв ліній. Потім необхідна ще одна обробка перед процесом етчінгу. За допомогою цих ламп досягається однорідна температура по всій площі пластини, що дозволяє контролювати критичні розміри та зменшує кількість дефектів. Також досягається швидше досягнення потрібної температури, менше відходів та менше споживання енергії завдяки ефективному передачі енергії. Оператори менше стикаються з проблемами, а служба технічного обслуговування – з необхідністю заміни ламп. Таким чином, час роботи обладнання залишається стабільним.
Що потрібно врахувати
Ці лампи підходять для більшості платформ, але їх інтеграція залежить від геометрії приміщення та розташування потоків повітря. Необхідно використовувати кабелі, придатні для чистих приміщень, та забезпечити правильне розташування вентиляційних систем, щоб зберегти однорідний потік повітря. Для досягнення найкращої однорідності необхідно налаштувати положення лампи відносно площини пластини та скоригувати її за допомогою термочутливих датчиків. Буде потрібен трохи більший час на стабілізацію емісії, але після цього процес буде стабільним.