Temizi Korumak: Class 100 Temiz Odalarında Isıtma Eğer bir Class 100 temiz odası işletiyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu zaten...

Vakum odanızı ısıtmayı bırakın. Eğer yarı iletken işleme alanında biraz olsun zaman geçirdiyseniz, bu zorluğu bilirsiniz. Wafer’ı ısıtmanız...