300mm hattında yumuşak pişirme işlemlerinde dikkatsiz olamazsınız. Profildeki sadece 2°C’lik bir kayma, kritik boyut (CD) kontrolünü...

Litografi alanında, prosedürü biliyorsunuz. Birkaç derecelik bir sıcaklık dalgalanması, kritik boyutları bozmak için yeterlidir ve birçok...