Vakum odanızı ısıtmayı bırakın.
Eğer yarı iletken işleme alanında biraz olsun zaman geçirdiyseniz, bu zorluğu bilirsiniz. Wafer’ı ısıtmanız gerekiyor, ancak tüm vakum odasını bir fırına dönüştürmek istemezsiniz.
Standart kızılötesi lambalar oldukça dağınıktır; ısıyı her yöne saçarlar. Bu enerjinin büyük bir kısmı waferden sekip iç duvarlara çarpar. Bir süre sonra, cihazın yapısı o kadar ısınır ki insanları yakabilir ve cihazın şeklinin değişmesinden endişelenmek zorunda kalırsınız. Bu gerçekten baş ağrıtıcı bir durumdur.
İpuçlarından biri, ısının tam da gereken yere gitmesini sağlamaktır.
Sadece sıradan kuvars tüpler kullanmak yerine, yönlendirilebilir kızılötesi ışınlar kullanıyoruz. Bunu bir ampul yerine el feneri kullanmaya benzetebilirsiniz. Özel yansıtıcılar ve vericiler sayesinde, kızılötesi enerjiyi dar bir hüzme halinde yönlendirebiliyoruz.
Isı doğrudan wafer’a ulaşıyor. Duvarlar ise nispeten serin kalıyor. Hâlâ istenen hızda ısınma mümkün, ancak aşırı ısınan cihazlarla uğraşmak zorunda kalmıyorsunuz.
Ancak bu “tak ve çalıştır” tarzında bir çözüm değil. Fizik kurallarını doğru uygulamak gerekiyor.
Kısa dalga boylu kızılötesi ışınları tercih ediyoruz; çünkü bunlar vakumu daha iyi yönetebiliyor ve ışını daha iyi odaklayabiliyorlar. Ayrıca yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz ki, ortamın bozulmasından endişelenmenize gerek kalmasın.
Ancak buradaki önemli nokta hesaplıklıdır. Bu kadar yoğun enerjiyi küçük bir alana odakladığınızda, ısı akısı çok yüksek olur. Eğer yansıtıcı birkaç milimetre bile yanlış yerdeyse, wafer ısınamaz; bunun yerine sıcak noktalar oluşur veya sensörler zarar görür. Ayrıca, emilen olmayan ısıyı yönetebilecek bir soğutma sistemi de gereklidir.
En iyisi ise, makineleri çalıştıran kişilerin rahat hissetmesidir. Duvarlar artık bu fazla enerjiyi emmediğinden, dış panellerin dokunulabilir olması sağlanır. Böylece ağır dış termal koruyuculara ihtiyaç kalmaz ve bakım işlemleri çok daha kolay hale gelir.
Bunu mevcut PID kontrol cihazlarınıza bağlayabilirsiniz ve donanımınızın erimesi konusundaki endişelerinizden kurtulmuş olursunuz.