Eğer daha önce yarı iletken üretimi için gerekli olan temiz odaların ısıtıcılarını tasarlamakla uğraştıysanız, “sıcak duvarlar” sorununu çok iyi biliyorsunuzdur. Bu oldukça yaygın bir sorundur. Hava sıcaklaştırmak için konveksiyon ısılaması kullanılır; ancak bu hava istenilen yerde kalmaz. Her yere yayılır. Kısa süre içinde dış kapaklar aşırı derecede ısınır. Bu durum hem güvenlik açısından tehlikelidir hem de enerjinin boşa harcanmasına neden olur.
Biz ise havayla mücadele etmeyi bırakıp bunu tamamen göz ardı etmeye karar verdik. İşte bu yüzden yönlendirilmiş kızılötesi ısıtma sistemini kullanmaya başladık.
Nasıl çalışır? Kızılötesi ısıtmayı, bir oda ısıtıcısından ziyade bir el feneri olarak düşünün. Tüm odayı ısıtmak yerine, elektromanyetik radyasyonu doğru yönde gönderir. Lambanın yerini doğru belirleyip yansıtıcılar kullanarak bu enerjiyi doğrudan wafer veya substratın üzerine yönlendirebiliriz. Isı tam da gerektiği yere gider. Kabuk duvarları “ısı akış hattında” olmadığı için dokunduğunuzda soğuk kalır.
Güç ve dezavantajlar Yüksek wattajlı kızılötesi ısıtıcıları küçük bir alana yerleştirdiğinizde ısı yoğunluğu inanılmaz derecede yüksek olur. Bu sistem, şimdiye kadar kullandığım herhangi bir zorlanmalı hava sisteminden çok daha hızlı ısınır. Ayrıca, bir tepsideki belirli bölgeleri ısıtarak odanın geri kalan kısmını ısıtmamış olursunuz.
Ancak burada bir dezavantaj var: Bu sistem için biraz daha hassasiyet gereklidir. Çünkü bu filamentler son derece sıcak olur; bu yüzden sensörün yerleştirilmesi son derece önemlidir. Eğer piyrometreniz biraz bile yanlış yerleştirilirse, sistem frenleme yapmadan hedef sıcaklığın çok ötesine geçer. Bu oldukça hassas bir işlemdir.
Daha güvenli bir çalışma ortamı En iyi yanı ise, duvarları ısıtmak için enerji harcamadığınız için hacimli yalıtım malzemelerine ve gürültülü soğutma sistemlerine ihtiyaç kalmamasıdır. Makine daha küçük olur ve daha temiz görünür. Daha da önemlisi, operatörler makinenin gövdesine yaslanırken ciddi yanıklar riski taşımazlar. Böylece parçalar üzerinde tam kontrol sahibi olursunuz ve etrafında bulunulabilecek güvenli bir makineye sahip olursunuz.