Stop de ‘glasregen’: Hoe om te gaan met gesprongen buizen tijdens het drogen van wafers
Als je een semiconductiefabriek met hoge productiesnelheden runt, ken je vast dit nachtmerriescenario: er springt een infraroodlamp kapot.
Het gaat niet alleen om het feit dat de machine stopt met werken. Er ontstaat ook veel rommel. Wanneer een kwartsbuis kapot gaat, vallen er glasscherven en halogeenafzettingen recht op de wafers terecht. Eén enkele explosie kan al zorgen voor het verlies van een hele lading wafers. Het is een ramp.
Wij hebben een manier gevonden om dit te voorkomen, door gebruik te maken van een veiligheidsreflector systeem.
De schermmethode
De meeste mensen denken dat reflectoren alleen worden gebruikt om infraroodstraling terug te kaatsen richting de wafers. Dat klopt inderdaad, maar wij gebruiken ze ook als fysiek schild. Door de behuizing strak om de lamp heen te wikkelen, creëren we een afgesloten ruimte. Als een buis kapot gaat, blijven de brokstukken in de behuizing zitten. Ze komen niet in de droogkamer terecht. Eenvoudig, maar het beschermt je wafers.
Hitte, materialen en de ‘warping’-factor
Lampen met hoge vermogens worden erg heet. Als het materiaal van de reflector de hitte niet kan verdragen, zal deze vervormen. Zodra de reflector vervormt, verandert ook de brandpunt van de lamp. Hierdoor ontstaan er hete plekken op de wafers. Dat is niet goed.
Afhankelijk van de golflengte die je nodig hebt, gebruiken we aluminium of gecorrigeerde legeringen. Deze materialen behouden hun vorm zelfs onder intensieve thermische belastingen.
Een snelle tip: controleer je koelblazers. Als de lucht niet goed circuleert, kan het te heet worden in de lamp. Dit veroorzaakt eerder storingen dan nodig is.
Het toepassen in de fabriek
We hebben dit ontworpen als een eenvoudige vervanging voor bestaande lampen. Je kunt de lamp gemakkelijk vervangen, zonder dat je urenlang bezig moet zijn met het opnieuw instellen van het hele optische systeem. Het werkt gewoon.
We hebben ook geen contactpunten meer gebruikt die door wrijving kunnen beschadigen. In plaats daarvan gebruiken we sterke mechanische clips. Wrijving zorgt voor veel spanning op de uiteinden van de kwartsbuis, vooral bij trillingen. Dit leidt tot prematuur falen van de lampen.
Nemt de behuizing wel wat meer ruimte in in de machine? Ja, dat klopt. Maar dat is een kleine prijs die je moet betalen om te voorkomen dat je ooit nog glasresten uit je productielijn moet halen.