Berhenti gunakan kaedah pemanasan biasa untuk chamber vakum anda.
Jika anda pernah terlibat dalam proses pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarnya tugas ini. Anda perlu memanaskan wafer tersebut, tetapi pada masa yang sama, anda tidak mahu seluruh chamber vakum berubah menjadi ketuhar.
Lampu inframerah biasa agak menyusahkan kerana ia memancarkan haba ke semua arah. Sebahagian besar tenaga tersebut akan memantul dari wafer dan mengenai dinding dalaman chamber. Akibatnya, badan mesin menjadi terlalu panas sehingga boleh membahayakan pengguna. Selain itu, bingkai mesin juga boleh rosak akibat haba yang berlebihan. Ini merupakan masalah yang serius.
Cara terbaik adalah dengan memastikan haba hanya sampai ke tempat yang sepatutnya.
Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kita menggunakan sistem inframerah yang lebih efektif. Bayangkanlah ia seperti perbezaan antara mentol lampu biasa dan lampu suluh. Dengan menggunakan reflektor dan pemancar khusus, kita dapat mengarahkan tenaga inframerah ke titik yang tepat.
Haba akan sampai secara langsung ke permukaan wafer. Dinding chamber pula akan tetap sejuk. Anda masih boleh mendapatkan kelajuan pemanasan yang diinginkan, tanpa perlu risau tentang masalah suhu berlebihan pada mesin.
Namun, ini bukanlah penyelesaian yang mudah. Anda perlu memahami prinsip fizik yang digunakan. Kita menggunakan gelombang inframerah pendek kerana ia lebih efektif dalam mengendalikan keadaan vakum, dan ia juga dapat memberikan fokus yang tepat. Kita juga menggunakan kuarsa berkualiti tinggi agar tidak ada masalah berkaitan gas yang boleh merosakkan persekitaran.
Tetapi, yang penting adalah ketepatan. Apabila tenaga yang banyak dialirkan ke satu titik kecil, fluks haba akan menjadi sangat tinggi. Jika reflektor tidak disusun dengan tepat, wafer tidak akan dipanaskan, sebaliknya akan tercipta kawasan panas yang boleh merosakkan sensor. Selain itu, sistem penyejukan juga diperlukan untuk menyerap haba yang tidak diserap oleh wafer.
Yang terbaik ialah apabila dinding chamber tidak menyerap tenaga yang berlebihan, maka panel luaran masih boleh disentuh dengan selamat. Anda tidak perlu lagi menggunakan pelindung haba yang rumit. Ini akan menjadikan proses penyelenggaraan lebih mudah.
Anda boleh menghubungkan sistem ini terus ke kawalan PID yang sedia ada, dan anda akan mendapat suhu yang stabil, tanpa perlu risau bahawa peralatan akan rosak akibat haba yang berlebihan.