Mengapa kita beralih kepada penggunaan haba inframerah untuk kereta pengangkut komponen semikonduktor
Ketika memindahkan wafer atau substrat antara stesen-stesen dalam proses pemprosesan yang kompleks, mengekalkan suhu yang stabil sangat penting. Untuk waktu yang lama, kita menggunakan udara panas untuk tujuan ini. Namun kini, kita beralih kepada penggunaan haba inframerah untuk kereta pengangkut di bilik bersih tersebut. Perbezaannya sangat ketara.
Penggunaan haba inframerah lebih efektif kerana tenaga haba tersebut sampai terus ke permukaan komponen yang diproses. Waktu yang diperlukan untuk memanaskan komponen juga berkurangan dari beberapa minit menjadi hanya beberapa saat sahaja. Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk memproses komponen juga berkurangan. Itulah sebabnya penggunaan haba inframerah semakin popular dalam proses pengeluaran yang memerlukan kelajuan tinggi.
Cara pemasangan sistem haba inframerah
Untuk menggunakan haba inframerah dalam kereta pengangkut, diperlukan peralatan khusus. Kita biasanya menggunakan lampu kuarsa berfrekuensi rendah. Lampu ini mampu menghasilkan haba yang banyak dalam ruang yang kecil. Kelebihannya adalah tiada bahagian yang bergerak; tiada blower, tiada kipas, dan tiada getaran. Ini bermakna tiada zarah-zarah yang boleh mengganggu proses pemprosesan.
Satu perkara yang perlu diperhatikan ialah bekalan kuasa. Jika lampu yang digunakan mempunyai kuasa yang tinggi—misalnya 2000W atau lebih—maka arus elektrik yang diperlukan juga akan tinggi. Pastikan kabel yang digunakan dapat menampung beban tersebut, jika tidak, voltan akan turun dan ini akan mengganggu proses pemprosesan.
Kelebihan dan kekurangan penggunaan haba inframerah
Haba inframerah bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ia memerlukan pandangan yang jelas agar haba dapat sampai ke permukaan komponen yang diproses. Jika beban pada kereta pengangkut tidak sekata atau ada halangan yang menghalang laluan haba, maka akan timbul kawasan yang sejuk. Udara mampu menyamaratakan suhu, tetapi haba inframerah tidak begitu. Oleh itu, kita perlu memilih lokasi yang tepat untuk meletakkan lampu tersebut. Jika terdapat kesalahan sedikit saja, keseluruhan profil haba akan berubah. Namun, kelajuan yang diperoleh hasil daripada penggunaan haba inframerah sangat berbaloi dengan usaha yang dilakukan.