Jika anda pernah terlibat dalam reka bentuk ketuhar yang digunakan di bilik bersih untuk pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu betapa menyusahkannya masalah “dinding yang panas”. Ini merupakan masalah klasik. Kita menggunakan kaedah pemanasan konvektif untuk memanaskan udara, tetapi udara tersebut tidak akan kekal di tempat yang diinginkan. Udara tersebut akan mengenai segala benda di sekelilingnya. Akibatnya, dinding luar ketuhar menjadi sangat panas, dan ini tentu saja membahayakan keselamatan serta menyebabkan pembaziran tenaga.
Kami memutuskan untuk tidak lagi berjuang menentang arus udara tersebut, dan memilih kaedah pemanasan inframerah secara terarah.
Cara ia berfungsi
Bayangkanlah kaedah pemanasan inframerah ini seperti lampu suluh, bukannya pemanas ruangan biasa. Ia tidak memanaskan seluruh bilik, sebaliknya menghantar sinaran elektromagnetik dalam garis lurus. Dengan meletakkan lampu pada posisi yang tepat dan menggunakan reflektor, kita dapat mengarahkan tenaga tersebut secara langsung ke wafer atau substrat yang ingin dipanaskan. Dengan cara ini, dinding ketuhar tidak akan terkena panas, jadi ia tetap sejuk apabila disentuh.
Kuasa yang digunakan (dan kelemahannya)
Apabila kita menggunakan panel inframerah berkuasa tinggi dalam ruang yang kecil, kepadatan haba yang dihasilkan sangat tinggi. Suhu akan meningkat dengan cepat berbanding sistem pemanasan udara biasa. Selain itu, kita boleh memanaskan kawasan tertentu sahaja tanpa memanaskan bahagian lain dari ketuhar tersebut.
Namun, ada satu kelemahan: ia memerlukan ketepatan yang tinggi dalam penempatan alat pengukur suhu. Jika alat pengukur suhu tersebut tidak diposisikan dengan tepat, suhu yang dihasilkan akan melebihi tahap yang ditetapkan sebelum sistem sempat mengurangkan kuasa pemanasan. Ini merupakan cabaran yang memerlukan ketepatan yang tinggi.
Bilik kerja yang lebih selamat
Yang terbaik ialah, apabila kita tidak perlu membuang tenaga untuk memanaskan dinding, kita boleh menghilangkan lapisan penebat yang tebal serta sistem penyejukan yang bising. Mesin akan menjadi lebih kecil, dan kelihatan lebih bersih. Yang paling penting, para pekerja tidak perlu risau tentang kemungkinan terbakar akibat bersentuhan dengan badan mesin. Kita dapat mengawal suhu mesin dengan lebih baik, dan mesin tersebut juga menjadi lebih selamat untuk digunakan.