Dalam proses litografi, perubahan suhu sebanyak 0.3°C semasa proses pemanasan bahan fotoresist sudah cukup untuk menyebabkan perbezaan ketebalan garisan yang dicetak, sehingga ia tidak dapat lulus ujian akhir. Anda tidak berpeluang untuk memulakan semula proses tersebut. Kami telah mencipta pemanas semikonduktor yang telah disahkan oleh CE ini untuk memastikan suhu tetap berada dalam julat yang ditetapkan, dari satu sesi pemprosesan ke sesi yang lain.
Apa yang penting dalam reka bentuk ini
Pemanas ini beroperasi menggunakan unsur inframerah gelombang pendek (SWIR), dengan saluran haba yang diperbuat daripada kuarz. Ini membolehkannya mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat. Kestabilan suhu pada tahap wafer adalah sekitar ±0.1°C, dan daya ulangan prosesnya sangat baik sehingga grafik SPC tidak akan menunjukkan masalah. Reka bentuk ini mematuhi standard bilik bersih: serasi dengan kelas 1–100, menggunakan bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, serta reka bentuk yang mengurangkan penghasilan zarah-zarah halus. Reka bentuk ini direka untuk digunakan 24/7, dengan litar perlindungan dan terminal yang mantap untuk memastikan operasi yang stabil.
Mengapa ini penting dalam proses fotoresist
Suhu semasa proses pemanasan secara langsung mempengaruhi profil tepi garisan yang dicetak. Jika suhu dikawal dengan baik, maka kerja-kerja pembaikan dan pembaziran dapat dikurangkan. Kestabilan suhu yang tinggi serta masa penstabilan yang singkat membolehkan kadar pengeluaran tetap tinggi tanpa menjejaskan kualiti produk. Penggunaan tenaga yang efisien juga membantu mengurangkan penggunaan tenaga secara keseluruhan. Akhirnya, hasilnya adalah prestasi termal yang stabil, bukannya dipengaruhi oleh keadaan bilik tersebut.
Faktor-faktor yang perlu diambil kira semasa pemasangan
Pemasangan pemanas ini bergantung pada aliran udara dan ketepatan letakannya. Sebarang celah akan menyebabkan ketidaksamaan suhu. Pemanas ini telah disahkan oleh CE untuk digunakan dalam proses semikonduktor, namun pematuhan akhir masih bergantung pada reka bentuk kotak penyimpanan, sistem keselamatan, dan amalan EMC yang digunakan. Pastikan voltan dan orientasi konektor ditentukan terlebih dahulu; perubahan semasa pemasangan boleh menyebabkan variasi yang tidak diingini.