फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने या वेफरों को सूखाने की प्रक्रिया के दौरान तापमान में होने वाले परिवर्तन सिर्फ एक तकनीकी समस्या ही नहीं हैं; ऐसे परिवर्तन प्रक्रिया को विफल भी कर सकते हैं। पुराने तरह के लैंप, निर्धारित तापमान को बनाए रखने की कोशिश करते हैं… लेकिन जब वातावरण में परिवर्तन होता है, तो इससे फिल्म में तनाव पैदा हो जाता है, एवं दोषों के कारण वेफरों पर दाग भी दिखने लगते हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे लैंपों का उपयोग करते हैं जिनमें शॉर्ट-वेव हैलोजन/क्वार्ट्ज तत्व होते हैं, एवं इनमें बंद-लूप थर्मल नियंत्रण प्रणाली भी होती है… इससे वेफरों पर तापमान की समानता ±0.1°C तक बनी रहती है। चैंबर में क्लास 1–100 स्तर की स्वच्छता बनी रहती है… एवं लैंप से कोई कण भी निकलते नहीं हैं। 5,000 घंटों से अधिक समय तक इन लैंपों का उपयोग किया जा सकता है… एवं इनकी तीव्रता में 5% से भी कम परिवर्तन होता है… इससे हर बार प्रक्रिया सुसंगत रहती है।
लिथोग्राफी में इन लैंपों का क्या महत्व है?
ये लैंप, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में आवश्यक तापमान सटीकता प्रदान करते हैं… इससे किनारों पर दाग एवं अवशिष्ट विलायकों से संबंधित समस्याएँ कम हो जाती हैं। वेफरों की सफाई एवं सूखाने की प्रक्रिया में, ये लैंप तेज़ एवं नियंत्रित तापन प्रदान करते हैं… जिससे प्रक्रिया में देरी नहीं होती। पैकेजिंग की प्रक्रिया में, ये लैंप स्थिर तापमान प्रदान करते हैं… जिससे एनकैप्सुलेंट सही तरीके से सूख जाता है।
इसके फायदे क्या हैं?
कम पुनर्निर्माण की आवश्यकता होती है… सीडी स्तर पर स्थिरता बनी रहती है… एवं उत्पादन दर भी स्थिर रहती है।
कुछ व्यावहारिक बातें:
ये लैंप नए उपकरणों में भी उपयोग में आ सकते हैं… लेकिन वातावरण संबंधी सुविधाओं को आपके गैस पैनल एवं एक्सहॉस्ट सिस्टम के साथ संरेखित करना आवश्यक है। स्वच्छ कमरे में ही इन लैंपों का उपयोग करना आवश्यक है… एवं उपकरणों की थर्मल क्षमता को ध्यान में रखना भी आवश्यक है। इन लैंपों का उपयोगी जीवनकाल लंबा होता है… लेकिन तीव्रता को नियमित रूप से समायोजित करना आवश्यक है… ताकि पुनरावृत्ति संभव रहे।