בחדר הייצור, שינויי הטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט או ייבוש הווה – אינו רק בעיה של עמידה במפרטים הטכניים; הוא יכול לגרום לכישלון התהליך...

על רצפת הליתוגרפיה, אפייה רכה אינה רק חימום מקדים. זו שלב תרמי מבוקר בקפידה שנועד לקבע את תכולת המסיסים, לקבע את ההיצמדות של הפוטורזיסט ולהשפיע...