חימום על בסיס חצאי מוליכים אשר קיבל אישור CE.

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.3°C בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לסטיות בעובי הקווים שנוצרים, מה שעלול לגרום לבעיות בשלב הבדיקות הסופיות....