Arrêtez de chauffer l’air : une manière plus intelligente de décarboner votre usine
Si vous voulez atteindre vos objectifs en matière de neutralité carbone dans une salle propre, il vous faut reconsidérer l’utilisation des chauffages. La plupart des usines continuent d’utiliser le système de convection, ce qui est en réalité un gaspillage d’argent. Vous dépensez une fortune pour chauffer toute une pièce, juste pour atteindre la température idéale pour un seul wafer. C’est inefficace.
La solution est plus simple que vous ne le pensez : passez à l’utilisation des rayons infrarouges. Au lieu de chauffer l’air, vous chauffez directement le substrat.
Le vrai avantage réside dans les principes physiques mis en jeu.
Les lampes infrarouges transforment l’électricité en chaleur rayonnante. Ainsi, vous pouvez éliminer les gros ventilateurs et échangeurs thermiques qui font grimper votre facture d’énergie. Comme nous utilisons des rayons infrarouges à courte longueur d’onde, vous pouvez atteindre les températures souhaitées en quelques secondes. Plus besoin d’attendre longtemps avant que la pièce ne soit suffisamment chaude. Moins de temps nécessaire pour chauffer signifie moins de kilowattheures consommés par wafer. C’est aussi simple que ça.
Pour intégrer cette technologie dans une ligne existante, il suffit généralement de remplacer les anciens éléments résistifs par des tubes à halogène en quartz. Il suffit ensuite de choisir des tubes adaptés au matériau que vous utilisez. Même pour des processus de chauffage à haute température, vous pouvez obtenir l’énergie nécessaire sans occuper plus d’espace.
Mais ce n’est pas tout magique.
La chaleur rayonnante est directionnelle, ce qui signifie que l’alignement est crucial. Si la lampe n’est pas bien positionnée, vous aurez des zones froides sur le wafer. Il faut également faire attention aux contrôleurs PID. Les rayons infrarouges réagissent très rapidement. Si leur réglage n’est pas correct, vous risquez de dépasser la température souhaitée et de endommager le substrat.
Mais les avantages en termes d’efficacité énergétique sont considérables. Lorsque vous cessez de laisser entrer de la chaleur dans la pièce, votre système de climatisation n’a plus besoin de travailler autant pour maintenir une température stable. Toute l’usine fonctionne donc plus efficacement, et la consommation d’énergie diminue. C’est probablement le moyen le plus rapide d’réduire votre empreinte carbone, sans avoir à remplacer tout l’équipement de l’usine.