متوقف کردن بارش شیشهها: راهحلی برای مقابله با پارگی لولهها در فرآیند خشک کردن ویفرها
اگر شما نیز یک خط تولید نیمههادی با بار کاری بالا دارید، حتماً از این وضعیت وحشتناک آگاه هستید. لامپهای مادون قرمز میتوانند منفجر شوند.
مسئله فقط متوقف شدن ماشین نیست؛ بلکه مشکلات ناشی از آن نیز وجود دارد. وقتی لوله کوارتزی پاره میشود، تکههای شیشه و رسوبات هالوژنی مستقیماً روی ویفرها میافتند. یک بار منفجر شدن لامپ، به معنای از بین رفتن کل محموله تولید شده است؛ این واقعاً یک فاجعه است.
ما راهی برای جلوگیری از این مشکل پیدا کردهایم؛ با استفاده از سیستمهای بازتابنده ایمنی.
روش استفاده از بازتابندهها
بیشتر مردم فکر میکنند که بازتابندهها فقط برای بازتاب تابش مادون قرمز به سمت ویفرها استفاده میشوند؛ البته اینطور است، اما ما از آنها به عنوان یک سد فیزیکی نیز استفاده میکنیم.
با پوشاندن کامل لامپ توسط این بازتابندهها، یک منطقه محصور ایجاد میشود؛ در این صورت، در صورت پارگی لوله، تکههای شیشه درون این منطقه باقی میمانند و وارد محفظه خشک کردن نمیشوند. این روش ساده است، اما میتواند ویفرها را از خطرات نجات دهد.
گرما، مواد و عوامل دیگر
لامپهایی با توان بالا، دمای بسیار بالایی دارند؛ اگر ماده ساختاری بازتابنده نتواند این گرما را تحمل کند، شکل آن تغییر میکند. در این صورت، نقطه تمرکز نور تغییر کرده و نقاط داغی روی ویفرها ایجاد میشود؛ این وضعیت خوبی نیست.
بسته به طول موج مورد نیاز، ما از آلیاژهای آلومینیومی با خلوص بالا یا آلیاژهای طلاکاریشده استفاده میکنیم؛ این مواد حتی در شرایط گرمایی شدید نیز شکل خود را حفظ میکنند.
یک نکته مهم: حتماً فنهای خنککننده را بررسی کنید؛ اگر هوا ساکن باشد، گرما بیشتری ایجاد میشود و این امر باعث خرابی سریعتر لامپها میشود.
کاربرد این روش در خط تولید
ما این سیستم را طوری طراحی کردهایم که بتوان آن را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد؛ بدون نیاز به تنظیم مجدد کل مسیر نوری. این روش بسیار ساده است.
همچنین، ما از اتصالات مبتنی بر اصطکاک استفاده نکردهایم؛ به جای آن، از کلیپهای مکانیکی استفاده کردهایم. اصطکاک باعث ایجاد فشار زیادی بر روی انتهای لولههای کوارتزی میشود؛ این امر منجر به خرابی زودهنگام لامپها میشود.
آیا این سیستم فضای بیشتری را در ماشین اشغال میکند؟ بله، اما این هزینه کوچکی است که برای جلوگیری از تمیز کردن تکههای شیشه از خط تولید پرداخته میشود.