در خط تولید، تغییرات دما در حین فرآیند پختن فوتورزیست یا خشک کردن ویفرها، صرفاً مشکلی مربوط به استانداردها نیست؛ بلکه میتواند باعث شکست کل فرآیند تولید شود. لامپهای قدیمی، دمای مورد نظر را حفظ میکنند؛ اما هنگامی که شرایط محیطی تغییر کند، باعث ایجاد تنش در فیلم فوتورزیست، وجود ذرات ناخواسته و مشکلات دیگر میشود که در بررسیهای کیفیت مشاهده میشوند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما از لامپهایی با عناصر هالوژنی/کوارتزی با طول موج کوتاه و سیستم کنترل حرارتی بازخوردی استفاده میکنیم؛ این سیستم، یکنواختی دما در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند. این سیستم، تعداد ذرات در اتاقهای تمیز را در حد کلاس ۱–۱۰۰ نگه میدارد؛ همچنین، خود لامپ نیز هیچ ذرهای تولید نمیکند. قابلیت تکرارپذیری خروجی لامپ، بیش از ۵۰۰۰ ساعت است؛ همچنین، تغییرات شدت نور کمتر از ۵ درصد است؛ بنابراین، پروفایلهای فرآیند پختن فوتورزیست در هر بار تولید، یکنواخت باقی میماند.
دلیل اهمیت این موضوع در فرآیند لیتوگرافی این است که این لامپها، دقت بالایی در کنترل دمای پختن فوتورزیست ارائه میدهند؛ این امر باعث کاهش مشکلات مربوط به رسوبات و مواد حلشونده باقیمانده در ویفر میشود. در فرآیندهای تمیز کردن و خشک کردن ویفرها، این لامپها گرمایش سریع و کنترلشدهای ایجاد میکنند؛ این امر باعث کاهش زمان فرآیند میشود، بدون اینکه دما از حد مجاز خارج شود. در فرآیند بستهبندی، این لامپها انرژی حرارتی مورد نیاز برای خشک شدن مواد را فراهم میکنند، بدون اینکه ویفر دچار تغییر شکل شود.
نتیجه این امر، کاهش تعداد کارهای تکراری، کنترل بهتر کیفیت و بهرهوری بالاتر است.
چند نکته عملی:
این لامپها میتوانند در دستگاههای جدید و دستگاههای قدیمی نیز استفاده شوند؛ اما سیستم کنترل محیط باید با پنلهای گازی و سیستمهای تخلیه هماهنگ باشد. باید مسیرهای الکتریکی مناسبی برای این لامپها در نظر گرفته شود؛ همچنین، باید اطمینان حاصل شود که سیستم حرارتی دستگاه، میتواند تغییرات دمایی را مدیریت کند. عمر مفید این لامپها خوب است؛ اما شدت نور آنها نیاز به تنظیم دورهای دارد؛ بنابراین، این کار باید در چارچوب نگهداری پیشگیرانه انجام شود تا قابلیت تکرارپذیری لامپها حفظ شود.