Hören Sie auf, Wärme zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren tatsächlich funktionieren
Bei der Heizung von Halbleiterbauteilen bedeutet jeder verschwendete Watt im Grunde genommen nur Geldverschwendung. Schlimmer noch: Die überschüssige Wärme kann die Maschinen beeinträchtigen oder den Produktionsprozess stören. Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Reflektoren. Anstatt zu allowieren, dass das Infrarotlicht ins Gehäuse strömt, lenken wir es genau dorthin, wo es hingehört – direkt auf den Wafer.
Der Trick liegt in der Reflexion.
Standard-Reflektoren sind zwar in Ordnung, doch sie streuen das Licht. Gold hingegen ist äußerst effektiv darin, das Infrarotlicht zurückzuwerfen. Deshalb beschichten wir den Reflektor damit, sodass die Photonen direkt zurück zum Substrat geschickt werden. Dadurch entsteht ein konzentrierter Wärmestrahl. Das Beste daran: Auf dem Wafer entsteht eine viel höhere Wärmedichte – ohne dass man die Spannung der Lampen erhöhen muss.
Warum Gold? Weil es nicht oxidiert.
Wir verwenden Gold, weil es auch bei extrem hohen Temperaturen nicht oxidiert. Aluminium ist zwar gängig, doch mit der Zeit bildet sich dort eine schlecht reflektierende Oxidschicht. Gold bleibt hingegen hell und sorgt dafür, dass die Wärmeverteilung konstant bleibt – selbst nach Tausenden von Zyklen.
Aber Achtung: Kühlung kann nicht vernachlässigt werden.
Wenn man so viel Energie in einen so kleinen Bereich konzentriert, wird das umliegende Gehäuse stark belastet. Wenn die Lüfter oder Wasserkühler nicht ausreichen, können das Gehäuse beschädigt werden oder die Anschlüsse kaputtgehen. Verachten Sie daher die Anforderungen bezüglich der Kühlung keinesfalls.
Wie das in der Praxis aussieht.
Wir haben diese Reflektoren so konstruiert, dass sie als Ersatz für Ihre vorhandenen Waferheizer verwendet werden können. Der Sinn dahinter ist es, mehr „effektive“ Watt aus Ihrem System zu gewinnen. Da weniger Energie verloren geht, haben Sie zwei Möglichkeiten: Entweder senken Sie Ihre Stromkosten oder erreichen Sie die gewünschten Temperaturen schneller. Der lästige Zeitverzug zwischen dem Umschalten des Schalters und dem Erreichen der gewünschten Temperatur verschwindet dabei völlig. Eine bessere Kontrolle über die Wärmebedingungen bedeutet weniger beschädigte Wafer während des Backvorgangs. Es handelt sich dabei einfach um eine sauberere und schnellere Arbeitsmethode.