Warum wir auf Infrarotheizung für die Transportwagen in Reinräumen umsteigen
Wenn man Wafer oder Substrate zwischen den verschiedenen Stationen im Fertigungsprozess transportiert, ist es entscheidend, dass die Temperatur konstant bleibt. Lange Zeit haben wir dazu heiße Luft verwendet. Doch inzwischen bevorzugen wir Infrarotheizung für unsere Transportwagen – der Unterschied ist enorm.
Es kommt letztendlich darauf an, wie die Wärme tatsächlich zum zu behandelnden Objekt gelangt.
Das Problem mit Luft
Bei der Verwendung von Luft zum Heizen muss zunächst die Luft selbst erhitzt werden, bevor sie das zu behandelnde Objekt erwärmen kann. Das ist langsam. Zudem führt das Blasen von Luft zu Turbulenzen. In einem Reinraum der Klasse 100 sind Turbulenzen ein Albtraum – etwas, was man unbedingt vermeiden sollte.
Infrarot hingegen funktioniert anders: Es handelt sich dabei um Strahlungsenergie, die direkt auf das Substrat wirkt. Dadurch sinken die Aufwärmzeiten von Minuten auf sekundenschnelle Zeiten. Wenn man nicht mehr mit Luftmassen kämpfen muss, reduziert sich die Zeit, die für die Bearbeitung benötigt wird. Deshalb wird Infrarotheizung immer häufiger in Hochleistungsanlagen eingesetzt – es macht einfach Sinn.
Die Einrichtung
Um Infrarotheizung in einen Transportwagen einzubauen, sind spezielle Geräte notwendig. Wir verwenden meist Kurzwellenkristalllampen. Sie erzeugen viel Wärme in einem kleinen Raum.
Das Beste daran: Es gibt keine beweglichen Teile – keine Gebläse, keine Ventilatoren, keine Vibrationen. Dadurch gibt es keine störenden Partikel im Arbeitsbereich.
Etwas, worauf man achten muss, ist die Stromversorgung. Wenn man Lampen mit hoher Leistung nutzt – beispielsweise 2000 Watt oder mehr pro Lampe – benötigt man viel Strom. Stellen Sie sicher, dass Ihre Verkabelung damit zurechtkommt – sonst entstehen Spannungsabfälle, die die Heizleistung beeinträchtigen können.
Der Kompromiss
Infrarotheizung ist zwar nicht „magisch“, aber sie funktioniert nur dann gut, wenn die Sichtlinie ungehindert ist. Wenn die Last auf dem Transportwagen ungleichmäßig verteilt ist oder etwas den Weg blockiert, entstehen kalte Stellen. Luft kann zwar Dinge ausgleichen, doch Infrarot tut das nicht.
Man muss also genau darauf achten, wo man die Lampen platziert. Bei einer Abweichung von nur wenigen Zentimetern ändert sich das gesamte thermische Profil. Das erfordert etwas mehr Planung vorab – doch die Geschwindigkeit, die man dadurch erreicht, lohnt sich.