Auf der Fertigungsfläche ist eine Temperaturänderung während des Trocknens des Fotolacks oder der Wafer kein bloßes Problem bezüglich der Spezifikationen – sie kann dazu führen, dass die gesamte Produktion ruiniert wird. Herkömmliche Lampen versuchen, die vorgegebenen Temperaturen einzuhalten. Wenn sich jedoch die Atmosphäre verändert, entstehen Spannungen im Film, Schmutz sowie Partikel, die bei der Überprüfung auf Defekte sichtbar werden.
Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Lampen mit kurzwelligen Halogen-/Quarzelementen und einer geschlossenen Temperaturregelung. Dadurch bleibt die Homogenität der Temperaturen auf dem Wafer bei ±0,1°C. Die Kammer hält die Anzahl der Partikel auf einem Niveau von Klasse 1–100 – außerdem erzeugen die Lampen selbst keine Partikel. Die Wiederholgenauigkeit bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, wobei die Intensität nur um weniger als 5% schwankt. Dadurch bleiben die Profile für das Weich- und Harttrocknen konstant.
Warum das in der Lithografie wichtig ist: Die Lampen gewährleisten eine präzise Temperaturregulierung beim Trocknen des Fotolacks – dadurch werden Probleme wie Randverfärbungen oder verbleibende Lösungsmittel reduziert. Bei der Reinigung und Trocknung der Wafer sorgt die Lampe für eine schnelle, kontrollierte Erwärmung, wodurch die Prozesszeit verkürzt wird, ohne dass es zu thermischen Überschreitungen kommt. Bei der Aushärtung des Verpackungsmaterials liefert die Lampe eine stabile Temperatur, damit das Material nicht verformt wird.
Vorteile: Weniger Nacharbeiten, konstante Kontrolle der CD-Qualität sowie eine zuverlässige Produktionsleistung.
Einige praktische Hinweise: Diese Lampen eignen sich sowohl für neue Geräte als auch für Umbauten. Allerdings muss die Anschlussstelle der Lampe mit dem Gasanschluss sowie dem Abzugssystem übereinstimmen. Planen Sie außerdem eine elektrische Leitung, die den Anforderungen eines Reinraums entspricht. Zudem muss das thermische Management des Geräts in der Lage sein, die erforderliche Temperatursteuerung zu bewältigen. Die Lebensdauer der Lampen ist gut, doch die Ausgangsintensität muss regelmäßig neu kalibriert werden – das gehört zur präventiven Wartung, damit die Wiederholgenauigkeit erhalten bleibt.