电子束光刻胶烘烤加热器

在光刻车间，电子束抗蚀剂烘烤温度漂移0.3°C绝非“小偏差”。这意味着线宽偏离，导致良好晶圆报废。当关键层的成败取决于光刻胶的热预算时，温度波动没有余地。烘烤步骤决定了剂量、对比度和图形完整性是否可靠。如果加热器无法保持严格的均匀性和重复性，扫描仪与光刻胶之间将处于持续的恶劣环境中。 关键点在于：...