Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, người ta không coi các bước xử lý nhiệt ở mức độ vừa phải và mức độ cao như những “bước điều chỉnh nhiệt độ” thông thường. Thực chất, chúng chính là yếu tố quyết định chất lượng của lớp phim cảm quang, mức độ đồng đều của các kích thước quan trọng, và cuối cùng là tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh. Một sự chênh lệch nhiệt độ chỉ 1°C, hay hiện tượng nóng không đều, hoặc sự xuất hiện của các hạt từ bộ phận gia nhiệt cũng có thể gây ra những sai sót trong quá trình sản xuất. Chúng tôi đã thiết kế các bộ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại để kiểm soát tốt những rủi ro này thông qua việc kiểm soát nhiệt độ một cách chặt chẽ.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Các bộ phát tia hồng ngoại của chúng tôi có khả năng làm nóng nhanh, và có khả năng truyền nhiệt đều lên bề mặt wafer với độ chính xác ±0.1°C – được đo trong điều kiện tải nhiệt tương đương với điều kiện sản xuất thực tế. Thiết kế này không sử dụng thạch anh, do đó giúp giảm thiểu sự ô nhiễm bởi các phân tử và không có sự xuất hiện của các hạt, từ đó giúp duy trì mức độ sạch sẽ trong phòng sản xuất ở mức Class 1–100. Độ lặp lại của nhiệt độ giữa các mốc được thiết lập là ±0.3°C trong suốt 24 giờ, nhờ đó chất lượng lớp phim cảm quang vẫn ổn định qua các lô sản xuất khác nhau. Thiết bị này có thể được lắp đặt vào các bộ phận gia nhiệt tiêu chuẩn, và hoạt động tốt với các hệ thống điều khiển nhiệt độ hiện có, mà không cần phải điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống.
Tại sao nó lại hoạt động tốt trong quy trình thực tế? Trong quá trình xử lý nhiệt ở mức độ vừa phải, việc loại bỏ dung môi diễn ra một cách kiểm soát được, giúp giảm áp lực còn sót lại trên bề mặt wafer và tăng độ bám dính của lớp phim cảm quang. Trong quá trình xử lý nhiệt ở mức độ cao, nhiệt độ được kiểm soát chính xác, giúp tránh các khuyết tật do hiện tượng chảy keo, đồng thời giúp duy trì chất lượng bề mặt wafer. Khả năng phản ứng nhanh với nhiệt độ giúp rút ngắn thời gian xử lý, mà không gây ra sự chênh lệch nhiệt độ quá lớn. Thiết kế nhẹ giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng trong quá trình khởi động và khi không hoạt động. Kết quả là quy trình sản xuất trở nên ổn định hơn, số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm đi, và khoảng thời gian bảo trì cũng có thể được lên kế hoạch một cách chính xác hơn.
Một vài điều cần lưu ý Các bộ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại đòi hỏi sự căn chỉnh chính xác về vị trí và độ phát xạ ánh sáng của các bộ phận cấu thành nó. Trong quá trình lắp đặt, cần phải điều chỉnh vị trí cảm biến nhiệt độ và đảm bảo rằng khu vực phát xạ tia hồng ngoại luôn sạch sẽ – nếu không, độ chính xác của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Nên tiến hành kiểm tra lại chất lượng quá trình xử lý nhiệt sau khi thay thế bộ gia nhiệt, bằng cách sử dụng wafer có cảm biến nhiệt độ đã được calibrate hoặc các thiết bị giám sát nhiệt độ tương đương.