Trong quy trình sản xuất, bước nung không phải là bước chuẩn bị ban đầu; đó là bước quyết định chất lượng sản phẩm. Chỉ cần sự sai lệch dù chỉ 0,5 độ so với mức yêu cầu cũng đủ khiến các kích thước quan trọng của wafer bị ảnh hưởng, từ đó làm mất kiểm soát độ dày của lớp phủ trên bề mặt wafer. Bạn cần nguồn nhiệt ổn định, chứ không phải nguồn nhiệt không đáng tin cậy.
Những yếu tố quan trọng trong quy trình nung
Chúng tôi sử dụng các mô-đun sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, giúp duy trì độ đồng nhất của nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Các mô-đun này sử dụng nguồn sáng hồng ngoại có khả năng phản ứng nhanh, phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của lớp phủ trên wafer. Thiết kế của chúng không sử dụng thủy tinh, và được tối ưu hóa để hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, mà không tạo ra các hạt bụi. Khu vực được sưởi ấm được thiết kế sao cho ngăn chặn sự thoát khí và ô nhiễm vào buồng xử lý.
Độ ổn định của nhiệt độ trong các bước nung rất cao – bước nung nhẹ nhằm loại bỏ chất lỏng, còn bước nung mạnh nhằm tăng khả năng bám dính và khả năng chống ăn mòn của lớp phủ. Nhờ đó, mỗi lô sản phẩm đều nhận được mức nhiệt độ như nhau.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình sản xuất?
Điều này giúp đảm bảo tính ổn định trong các bước sản xuất: độ chính xác khi in ấn, độ đồng nhất của kích thước wafer, và tỷ lệ sản phẩm thành công. Việc kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ giúp giảm sự chênh lệch nhiệt độ giữa các điểm trên bề mặt wafer, từ đó tránh được việc phải làm lại sản phẩm.
Các mô-đun này còn giúp giảm lượng năng lượng tiêu thụ. Việc tăng nhiệt độ nhanh chóng và chính xác giúp giảm gánh nặng nhiệt lên thiết bị và toàn bộ hệ thống. Với khả năng hoạt động 24/7 và ít biến động về nhiệt độ, thời gian ngừng hoạt động do sự cố sẽ giảm, và thời gian hoàn thành sản phẩm sẽ được rút ngắn – mà không làm hư hại lớp phủ trên wafer.
Những điều cần lên kế hoạch trước
Các mô-đun này đòi hỏi một môi trường điện và hệ thống làm mát ổn định: điện áp ổn định và lượng không khí đủ để duy trì nhiệt độ của bộ phát nhiệt ở mức thiết kế. Chúng có thể được tích hợp dễ dàng vào các hệ thống sơn/phủ hiện có, nhưng bạn cần lên kế hoạch trước về kích thước và đường dẫn nước làm mát. Thời gian cài đặt ban đầu sẽ khá ngắn, sau đó quy trình sẽ hoạt động ổn định với nhiệt độ như mong muốn.