Bộ gia nhiệt kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)

Trên sàn sản xuất, phép đo AFM có thể bị ảnh hưởng khi trôi nhiệt làm mất độ phân giải. Biến thiên 0,5°C đã đủ để làm lệch hiệu chuẩn đầu dò, và lịch...