Neden yarı iletken taşıma araçlarında kızılötesi ısıtma kullanıyoruz?
Derin işleme süreçlerinde wafer veya substratları farklı istasyonlar arasında taşırken sıcaklığın sabit kalması çok önemlidir. Uzun süre boyunca sadece sıcak hava kullanıldı. Ancak son zamanlarda temiz oda taşıma araçlarımız için kızılötesi ısıtma sistemlerini kullanmaya başladık ve bu yöntemle elde edilen sonuçlar inanılmaz.
Aslında mesele, ısının nasıl parçaya ulaştığıyla ilgili.
Hava kullanmanın dezavantajları
Zorlanmış hava kullanımını düşünün: Öncelikle havayı ısıtmak gerekiyor, ardından bu hava parçayı ısıtacak. Bu oldukça yavaş bir yöntemdir. Ayrıca, bu şekilde üfleyen hava karışıklıklara neden olur. Sınıf-100 temiz odalarda bu tür karışıklıklar kesinlikle istenmeyen bir durumdur.
Kızılötesi ısıtma ise farklıdır. Bu bir radyasyon enerjisidir ve doğrudan substrata temas eder. Isınma süresi dakikalardan saniyelere düşüyor. Hava ile uğraşmak yerine böylece işlem süresi büyük ölçüde azalıyor. İşte bu yüzden yüksek verimli üretim hatlarında kızılötesi ısıtma sistemi her yerde kullanılıyor.
Kurulum süreci
Kızılötesi ısıtma sistemlerini taşıma araçlarına entegre etmek için özel ekipmanlar gerekiyor. Genellikle kısa dalga boylu kuvars lambalar kullanılır. Bunlar küçük bir alanda çok fazla ısı üretir.
En iyi yanı ise hareketli parçaların olmamasıdır. Ne blower ne de fan vardır; bu da çalışma alanında rastgele parçacıkların dolaşmasını engeller.
Dikkat edilmesi gereken bir diğer nokta ise güç kaynağıdır. Eğer yüksek watt’lık lambalar kullanılıyorsa, çok fazla elektrik akımı gereklidir. Kabloların bunu kaldırabileceğinden emin olun; aksi takdirde voltaj düşüşleri meydana gelir ve bu da ısıtma işlemini olumsuz etkiler.
Avantajlar ve dezavantajlar
Kızılötesi ısıtma sihirli bir yöntem değildir. Görüş hattı içinde çalışır. Eğer taşıma aracındaki yük dengesizse veya yolunu bir şey engelliyorsa soğuk noktalar oluşur. Hava her şeyi dengelemekte iyidir, ancak kızılötesi ısıtma böyle bir işlev göstermez. Lambaların yerleştirileceği yeri hassas bir şekilde belirlemek gerekir. Birkaç santimetrelik bir hata bile tüm termal profili bozar. Başlangıçta biraz daha fazla planlama gerekiyor, ancak elde edilen hız bu çabaya değer.