Litografi sürecinde, “yumuşak fırınlama” ve “sert fırınlama” işlemlerini sadece “sıcaklık adımları” olarak görmemek gerekir. Bunlar, fotoresist profilinin, kritik boyutların tutarlılığının ve sonuçta da ürün verimliliğinin belirlenmesinde önemli rol oynayan faktörlerdir. 1°C’lik bir sıcaklık değişimi, aşırı ısınma veya yorgunlaşmış ısıtıcıdan kaynaklanan parçacıklar, kontrol işlemlerinden kaçarak üründe sorunlara yol açabilir. Bu riskleri ortadan kaldırmak için infraruj ısıtıcılar tasarladık.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Yakın infraruj ışık kaynaklarımız hızlı bir şekilde ısı üretir ve aktif yüzey üzerinde ±0,1°C’lik bir tutarlılıkla ısınırlar. Bu tasarım kvars içermez ve düşük gaz salınımına sahiptir; bu sayede moleküler kirlilik azalır ve parçacık oluşumu engellenir. Böylece temiz oda koşullarında parçacık sayısı Class 1–100 arasında sabit kalır. 24 saat boyunca ayar noktaları arasındaki tekrarlanabilirlik ±0,3°C’dür; böylece fotoresistin fırınlanma profili her parti için tutarlı kalır. Isıtıcı gövdesi standart sıcak plaka sistemlerine uyum sağlar ve mevcut sıcaklık geri bildirim döngüleriyle birlikte çalışır; dolayısında tesisin yeniden kalibre edilmesine gerek yoktur.
Gerçek üretim sürecinde neden işe yarar?
Yumuşak fırınlamada, kontrollü ve tekrarlanabilir bir şekilde çözücüler uzaklaştırılır; böylece daha az artık stres oluşur ve yapışma daha iyi olur. Sert fırınlamada ise ısı dağılımı tam olarak kontrol altında olur; böylece yeniden erime gibi sorunlar önlendiği gibi temiz kazıma ve yerleştirme işlemleri de sorunsuz gerçekleşir. Hızlı ısı tepkisi, döngü süresini kısaltırken aşırı ısınmayı engeller. Düşük kütleli tasarım ise enerji tüketimini azaltır. Sonuç olarak daha stabil bir üretim süreci, daha az yeniden işlem gerektiren ürünler ve planlanabilir bakım aralıkları elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler:
İnfraruj ısıtıcılar, plaka dizilimi ve emisivite farkları konusunda hassastır. Kurulum sırasında sıcaklık sensörünün konumunu kalibre etmek ve infraruj pencerenin temiz olduğundan emin olmak gerekir; aksi takdirde kazanç değerleri değişebilir ve tutarlılık bozulabilir. Değişimden sonra, kalibre edilmiş bir termokupl waferi veya benzeri bir termal monitör kullanarak fırınlama profilini tekrar kalibre etmek gerekir.