บนสายการผลิต 300mm การควบคุมการอบด้วยความร้อนแบบ soft bake ต้องแม่นยำสูง การเปลี่ยนแปลงของโปรไฟล์เพียง 2°C สามารถทำให้การควบคุมมิติเชิงวิกฤติ (CD)...

บนพื้นลิธอกราฟี คุณรู้วิธีการทำงาน อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงไปไม่กี่องศาก็เพียงพอที่จะทำให้มิติที่สำคัญผิดเพี้ยนและทำให้เวเฟอร์จำนวนมากกลายเป็นของเสีย...