บนพื้นลิธอกราฟี คุณรู้วิธีการทำงาน อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงไปไม่กี่องศาก็เพียงพอที่จะทำให้มิติที่สำคัญผิดเพี้ยนและทำให้เวเฟอร์จำนวนมากกลายเป็นของเสีย การอบอ่อนและการอบแข็งไม่ใช่แค่ “ขั้นตอนการให้ความร้อน” แต่นี่คือจุดที่คุณล็อกการกำจัดตัวทำละลาย จัดการความเครียดของฟิล์ม และตั้งงบประมาณความร้อนที่ต้องอยู่รอดในการกัดและการเคลือบในขั้นตอนถัดไป เมื่อโปรไฟล์การอบมีการเบี่ยงเบน คุณจะพบปัญหาการติดแน่น สิ่งสกปรก และความหยาบของขอบเส้น
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ภายใต้พื้นผิว เรากำลังใช้หลอดส่งออกอินฟราเรดใกล้ (NIR) ที่ให้ความร้อนรังสีโดยตรงอย่างรวดเร็วพร้อมการควบคุมอุณหภูมิที่แน่นหนา สเปกตรัมถูกปรับให้ดูดซึมได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยชุดฟิล์มโฟโตเรซิสต์ ดังนั้นจึงช่วยลดการให้ความร้อนกับฐานและตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ทั่วทั้งเวเฟอร์ เรารักษาความสม่ำเสมอที่ ±0.1°C ดังนั้นทุกชิ้นจะเห็นเงื่อนไขการอบเดียวกัน ความเข้ากันได้กับห้องสะอาดได้รับการออกแบบมา: การทำงานระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคเลย ซึ่งได้รับการสนับสนุนโดยส่วนประกอบควอตซ์ที่มีการปล่อยก๊าซต่ำและการสิ้นสุดที่ปิดสนิท ตัวส่งทำงานตลอด 24 ชั่วโมงทุกวันโดยมีการผลิตที่เสถียร และเราติดตามความสามารถในการทำซ้ำบนหน่วยเดียวกันเป็นเวลา 5,000+ ชั่วโมงโดยมีการลดลงของความเข้มต่ำกว่า 5%
ทำไมวิธีนี้จึงมีประสิทธิภาพในทางปฏิบัติ ในการอบอ่อน โปรไฟล์ NIR จะดึงตัวทำละลายออกอย่างรวดเร็วโดยไม่ทำให้ฟิล์มเสียหาย ซึ่งช่วยลดการทำงานซ้ำและปรับปรุงการควบคุมมิติที่สำคัญ ในการอบแข็ง อุณหภูมิที่สม่ำเสมอช่วยป้องกันการขีดข่วนสะท้อนและให้การยึดเกาะที่ดีกว่าเมื่อเข้าสู่ขั้นตอนการกัด ผลลัพธ์คือจำนวนล็อตของเสียที่น้อยลง หน้าต่างกระบวนการที่เสถียร และเวลาการทำงานของอุปกรณ์ที่คาดการณ์ได้ คุณยังประหยัดพลังงานเพราะความร้อนรังสีจะมุ่งเป้าไปที่โฟโตเรซิสต์โดยตรง และการตอบสนองทางความร้อนที่รวดเร็วช่วยลดเวลาการอบโดยไม่ทำให้ความสมบูรณ์ของโปรไฟล์เสียหาย
รายละเอียดปฏิบัติที่คุณต้องทำให้ถูกต้อง ตัวส่ง NIR มีความไวต่อรูปทรงการติดตั้งและเส้นสายตาที่มองไปยังเวเฟอร์ คุณจะได้รับความสม่ำเสมอที่แน่นหนามากขึ้นเมื่ออาร์เรย์ถูกจัดเรียงและจัดระยะตามข้อกำหนดของเครื่อง ในระหว่างการรวมระบบเบื้องต้น คุณอาจต้องปรับแต่งสูตรการอบใหม่เพื่อให้ตรงกับการขึ้นอุณหภูมิที่ชันขึ้น การทำงานในห้องสะอาดที่มีความชื้นต่ำหมายถึงการให้ความสนใจเป็นพิเศษต่อการควบคุมสถิตเมื่อคุณจัดการกับหลอด ติดตั้งโดยเว้นระยะห่างตามที่กำหนดและทำงานภายในช่วงแรงดันที่กำหนด ตัวส่งจะให้ประสิทธิภาพการอบที่เสถียรและสามารถทำซ้ำได้ซึ่งช่วยให้กระบวนการอยู่ในควบคุม