W procesie litografii nie traktuje się procesów „miękkiego” i „twardego” wypalania jako zwykłych „kroków temperaturowych”. To one decydują o profilu fotorezystu, jednorodności wymiarów elementów oraz, co najważniejsze, o efektywności całego procesu. Nawet niewielka odchylenia temperatury o 1°C, punkty o wyższej temperaturze lub cząsteczki pochodzące z uszkodzonych grzałek mogą skutkować problemami takimi jak nadmierna warstwa substancji na powierzchni płytki, nieprawidłowa szerokość linii itp., które umykają uwadze inspektorów. Nasze grzałki zastępcze działające w zakresie promieniowania podczerwonego minimalizują te ryzyka dzięki precyzyjnemu kontrolowaniu temperatury.
Co jest istotne pod względem technicznym Nasze emitory emitujące światło w zakresie bliskiej podczerwieni szybko nagrzewają płytkę, przy zachowaniu jednorodności temperatury na poziomie ±0,1°C na całej aktywnej powierzchni – mierzonej przy obciążeniu termicznym odpowiadającym warunkom produkcji. Konstrukcja tych grzałek nie zawiera kwarcu i charakteryzuje się niskim poziomem emisji gazów, dzięki czemu unika się zanieczyszczeń molekularnych oraz wydzielenia cząsteczek, co zapewnia stabilną liczbę cząstek w pomieszczeniu klasy 1–100. Powtarzalność wartości temperatury wynosi ±0,3°C w ciągu 24 godzin, więc profil wypalania fotorezystu pozostaje stały niezależnie od partii produktów. Grzałki te pasują do standardowych uchwytów i mogą być używane razem z istniejącymi systemami kontroli temperatury, bez konieczności ponownej kalibracji urządzenia.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w praktyce Podczas procesu „miękkiego” wypalania dochodzi do kontrolowanego i powtarzalnego usuwania rozpuszczalników – co zmniejsza naprężenia resztkowe i poprawia przyczepność materiału. W przypadku procesu „twardego” wypalania temperatura jest regulowana z dużą dokładnością, dzięki czemu unika się wad związanych z ponownym topnieniem materiału i zachowuje się czystość powierzchni płytki podczas procesu etchingu i implantacji. Szybka reakcja grzałek na zmiany temperatury skraca czas cyklu bez konieczności przekroczenia założonej wartości temperatury. Niska masa grzałek zmniejsza zużycie energii podczas startu procesu i w stanach spoczynku. Rezultatem jest stabilny proces produkcyjny, mniejsza liczba partii wymagających ponownej obróbki oraz możliwość planowania okresów konserwacji.
Kilka rzeczy, na które należy zwrócić uwagę Grzałki zastępcze działające w zakresie promieniowania podczerwonego wymagają precyzyjnego ustawienia oraz uwzględnienia różnic w emisyjności poszczególnych elementów konstrukcji. Podczas instalacji konieczna jest kalibracja sensora temperatury oraz sprawdzenie, czy okno podczerwone nie jest zabrudzone – w przeciwnym razie może dojść do nieprawidłowej pracy systemu kontrolingu temperatury. Po wymianie grzałek warto przeprowadzić szybką ponowną kalibrację, używając kalibrowanego termoprzewodu lub innego urządzenia do pomiaru temperatury.