Op de productielijn is het zo dat zelfs een kleine afwijking van maar een halve graad al voldoende is om de kritieke dimensies te beïnvloeden. Als je wacht met het gebruik van de sterke verwarmingselementen, ontstaan er problemen. Thermische reacties zijn geen ‘nice-to-have’-kenmerk; ze zijn eerder een noodzakelijke vereiste.
Wij hebben infraroodverwarmingslampen ontwikkeld die snel reageren op veranderingen in temperatuur. Hierdoor kan er consistent warmte worden gegenereerd, zodat de wafer, de fotoresist en de rest van de componenten niet hoeven te wachten. Het hart van deze lampen is een kortgolfinfraroodemitter: gevuld met halogeen, in een kwartsomhulsel geplaatst, en afgestemd op een snelle temperatuurstijging. De lamp bereikt snel het gewenste temperatuurniveau, zodat de temperatuur nauwkeurig overeenkomt met de vereisten. Overal in de verwerkingzone blijft de uniformiteit van de temperatuur binnen ±0,1°C. De lamp blijft bovendien stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in prestaties. De constructie van de lamp zorgt er ook voor dat er geen partikels vrijkomen, waardoor de kwaliteit van het product behouden blijft.
In lithografieverwerkingscellen betekent dit dat er betere controle is over de thermische parameters, minder herwerkingsacties nodig zijn, en dat de breedte van de lijnen nauwkeurig kan worden bepaald. Snellere temperatuurstijgingen zorgen voor kortere cyclustijden, zonder dat de kwaliteit van de verwerking wordt aangetast. De energieverbruik neemt af, omdat er alleen warmte wordt gegenereerd wanneer dat nodig is, in plaats van dat de lamp continu warm blijft terwijl de machine stilstaat.
De lampen kunnen gemakkelijk worden geïnstalleerd in standaardmontages. De spectrale uitstraling van de lampen past bij de absorptie van de gebruikelijke fotoresisten, waardoor de thermische belasting wordt verminderd en het risico op restanten afneemt.
De installatie is eenvoudig, maar het is belangrijk om de focusafstand en de geometrie van de reflectoren goed te controleren. Als dit niet klopt, leidt dit tot ongelijkmatigheden in de temperatuur en gaat de levensduur van de lamp terug. Houd rekening met hoge oppervlaktetemperaturen; gebruik daarom passende bescherming en veiligheidsmechanismen. Pas de stroomvoorziening aan op de impedantie van de lamp en gebruik een zachte start om de filamenten te beschermen.
Behandel de lamp als een gemeten thermisch actuator. Op deze manier blijft het verwerkingsproces altijd binnen de vereiste parameters, shift na shift.