
Mengurangkan pelepasan karbon di bilik bersih: Kebenaran tentang proses pengeringan semikonduktor
Untuk menghilangkan bahan pelarut dan kelembapan dari wafer tanpa merosakkan keseluruhan wafer tersebut merupakan tugas yang sangat rumit. Selama ini, kita menggunakan kaedah pemanasan secara konvensional, di mana seluruh bilik dipanaskan hanya untuk mengeringkan sekeping silikon kecil sahaja. Ini merupakan pembaziran tenaga yang besar.
Oleh itu, penggunaan pengawal digital berbasis sinar inframerah jelas merupakan penyelesaian yang lebih baik. Daripada memanaskan udara di sekeliling wafer, cahaya inframerah dapat digunakan untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Cara ini lebih efisien, lebih cepat, dan juga mengurangkan penggunaan tenaga oleh bilik bersih tersebut.
Masalah dengan kaedah pemanasan lama
Elemen pemanasan lama sering kali tidak efisien. Suhu yang dihasilkan mungkin melebihi had yang ditetapkan, lalu menyebabkan kerosakan pada peralatan. Ini menyebabkan penggunaan tenaga yang berlebihan.
Kita menggunakan pengawal PID digital untuk menyelesaikan masalah ini. Pengawal ini dapat mengatur output cahaya inframerah secara masa nyata, sehingga suhu tetap stabil dalam lingkungan ±1°C. Dengan cara ini, penggunaan tenaga dapat dikurangkan. Sangat mudah, bukan?
Mengapa sinar inframerah berkesan
Sinar inframerah merupakan radiasi elektromagnetik. Ia tidak memerlukan udara untuk membawa haba; ia langsung dapat menembusi bahan tersebut. Oleh itu, kita tidak perlu menggunakan sistem aliran udara yang kompleks atau bahan penebat yang berat. Kita menggunakan sinar inframerah berfrekuensi rendah kerana ia dapat menembusi bahan dengan cepat. Wafer akan kering dengan lebih cepat, peralatan pun tidak perlu beroperasi untuk waktu yang lama, dan pengeluaran tetap dapat berjalan tanpa perlu menyalakan lampu sepanjang malam.
Kelemahan metode ini
Namun, jangan anggap bahwa metode ini mudah digunakan untuk setiap proses produksi. Sistem sinar inframerah bertekstur tinggi menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika kita tidak berhati-hati dalam mengurus sistem penyejukan, komponen elektronik boleh rosak. Jika chasis peralatan tidak dirancang untuk menahan beban haba yang begitu tinggi, komponennya akan rosak lebih cepat daripada yang seharusnya. Kita perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik.
Kesimpulan
Dengan menggunakan pengawal digital berbasis sinar inframerah, proses pengeringan tidak lagi menjadi penghalang utama dalam pengurangan pelepasan karbon. Proses ini menjadi lebih efisien. Semuanya berkaitan dengan prinsip termodinamika. Jika kita tidak membuang-buang tenaga untuk memanaskan udara yang tidak diperlukan, pengeluaran CO2 akan berkurangan. Ini merupakan keuntungan bagi planet bumi dan juga bagi fasilitas penghasilan tersebut.