반도체 청정실용 트롤리 히터

왜 반도체 처리용 카트에 적외선 가열 방식을 도입하는가? 반도체 웨이퍼나 기판을 여러 처리 공정 사이로 옮길 때는 온도를 일정하게 유지하는 것이 매우 중요합니다. 오랫동안 우리는 단순히 뜨거운 공기를 이용해 열을 전달해 왔습니다. 하지만 최근에는 클린룸용 카트에 적외...