Arrêter la pluie de verre : comment gérer les ruptures des tubes à infrarouges lors du séchage desWafer
Si vous dirigez une ligne de production de semi-conducteurs à forte charge, vous connaissez bien ce scénario catastrophe. Une lampe à infrarouges se brise. Ce n’est pas seulement le problème de l’arrêt de la machine : il y a aussi tout le désordre que cela provoque. Lorsqu’un tube en quartz se brise, des éclats de verre et des dépôts d’halogène tombent directement sur les Wafer. Un simple craquement suffit pour détruire toute une série de Wafer. C’est vraiment un désastre.
Nous avons trouvé un moyen d’éviter cela en utilisant un système de réflecteurs de sécurité.
L’approche par bouclier
La plupart des gens pensent que les réflecteurs servent uniquement à renvoyer les rayons infrarouges vers le Wafer. C’est vrai, mais nous les utilisons également comme barrière physique. En enveloppant étroitement la lampe dans un boîtier, nous créons une zone de confinement. Si un tube se brise, les débris restent à l’intérieur du boîtier. Ils ne peuvent donc pas atteindre la chambre de séchage. C’est simple, mais cela permet de protéger les Wafer.
Chaleur, matériaux et problème de déformation
Les lampes à haute puissance deviennent extrêmement chaudes. Si le matériau du réflecteur ne peut pas supporter cette chaleur, il se déforme. Une fois déformé, le point focal change, ce qui entraîne des points chauds sur les Wafer. Ce n’est pas bon.
Selon la longueur d’onde souhaitée, nous utilisons de l’aluminium de haute pureté ou des alliages plaqués or. Ces matériaux conservent leur forme même en cas de cycles thermiques intensifs.
Un petit conseil : vérifiez vos souffleurs de refroidissement. Si l’air stagne, cela provoque une surchauffe des lampes. Cela accélère considérablement leur dégradation.
Fonctionnement en conditions réelles
Nous avons conçu ce système pour qu’il puisse être remplacé sans avoir à réajuster l’ensemble du système optique. Il fonctionne simplement.
De plus, nous avons abandonné les systèmes de fixation par frottement. Au lieu de cela, nous utilisons des clips mécaniques solides. Le frottement exercerait une grande pression sur les extrémités du quartz, surtout en cas de vibrations, ce qui provoquerait des défaillances prématurées.
Le boîtier occupe-t-il plus d’espace dans la machine ? Oui, mais c’est un petit prix à payer pour éviter de devoir nettoyer les éclats de verre de votre ligne de production.