دیگر نیازی نیست از محفظه خلأ برای پختن وسایل استفاده کنید!
اگر تجربه کار در زمینه فرآوری نیمههادی دارید، میدانید که چقدر کار سختی است. باید ویفر را گرم کنید، اما نمیخواهید کل محفظه خلأ به یک فر تبدیل شود.
لامپهای مادون قرمز استاندارد، کاربردشان محدود است؛ زیرا گرما را در همه جا پخش میکنند. بخش زیادی از انرژی، از روی ویفر منعکس شده و به دیوارههای داخلی محفظه برخورد میکند. در نتیجه، بدنه محفظه آنقدر گرم میشود که میتواند باعث سوختگی افراد شود؛ همچنین، نگرانی از تغییر شکل بدنه محفظه نیز وجود دارد. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
راه حل این است که گرما را دقیقاً به جایی که باید برسانیم.
به جای استفاده از لولههای کوارتز ساده، از لامپهای مادون قرمز جهتدار استفاده میکنیم. میتوان آن را مانند تغییر از لامپ روشنایی به چراغ قوه در نظر گرفت. با استفاده از بازتابندهها و پرتوفرستهای تخصصی، انرژی مادون قرمز را در یک پرتو متمرکز درمیآوریم.
گرما مستقیماً روی سطح ویفر تأثیر میگذارد؛ دیوارهها نیز نسبتاً سرد باقی میمانند. شما همچنان میتوانید سرعت گرم شدن ویفر را کنترل کنید، اما دیگر نگران گرم شدن بیش از حد بدنه محفظه نخواهید بود.
البته، این روش یک روش جادویی نیست؛ باید اصول فیزیکی را در نظر بگیریم.
ما از لامپهای مادون قرمز موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها میتوانند گرما را بهتر کنترل کنند. همچنین، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم تا مشکلات ناشی از گازهای زائد ایجاد نشود.
اما نکته مهم این است که دقت، همه چیز است.
وقتی این مقدار انرژی را در یک نقطه کوچک متمرکز میکنیم، شدت گرما بسیار زیاد خواهد بود. اگر بازتابندهها حتی چند میلیمتر اشتباه کنند، ویفر گرم نخواهد شد؛ بلکه یک نقطه داغ ایجاد خواهد شد. همچنین، نیاز به سیستم خنککننگی وجود دارد تا گرمای باقیمانده را جذب کند.
اما بهترین بخش این است که کارکنانی که ماشینها را کنترل میکنند، دیگر نگران گرم شدن بیش از حد ماشینها نخواهند بود.
میتوانید این سیستم را مستقیماً به کنترلکنندههای PID موجود خود متصل کنید؛ در نتیجه، دمای ماشین به طور یکنواخت افزایش خواهد یافت، بدون اینکه نگران ذوب شدن قطعات سختافزاری باشید.