
اگر تا به حال در زمینه طراحی فرهای مورد استفاده در اتاقهای تمیز نیمههادی کار کرده باشید، میدانید که مشکل «دیوارهای گرم» چقدر آزاردهنده است.
این یک مشکل کلاسیک است؛ برای گرم کردن هوا از روش گرمایش همرفتی استفاده میشود، اما این هوا در جایی که میخواهیم باقی نمیماند؛ بلکه به همه چیز برخورد میکند. در نتیجه، دیوارهای خارجی دستگاه بسیار گرم میشوند؛ این امر هم از نظر ایمنی مشکلساز است و هم انرژی زیادی را هدر میدهد.
ما تصمیم گرفتیم دیگر با این مشکل مبارزه نکنیم و از روش گرمایش مادون قرمز استفاده کنیم.
نحوه کارکرد آن
میتوانید گرمایش مادون قرمز را بیشتر شبیه یک فانوس در نظر بگیرید؛ نه یک دستگاه گرمایشی معمولی. این روش، به جای گرم کردن کل اتاق، تابش الکترومغناطیسی را در یک خط مستقیم ارسال میکند.
با قرار دادن صحیح لامپ و استفاده از منعکسکنندهها، میتوانیم انرژی را مستقیماً به سمت ویفر یا سطح مورد نظر هدایت کنیم؛ در نتیجه، گرما دقیقاً به جایی میرود که لازم است. از آنجایی که دیوارهای دستگاه در «خط تابش» قرار ندارند، دستگاه کاملاً سرد باقی میماند.
انرژی مورد نیاز (و معایب آن)
وقتی یک سیستم گرمایشی مادون قرمز با توان بالا را در فضای کوچکی قرار میدهیم، چگالی گرما بسیار بالا میشود؛ این روش سریعتر از هر سیستم گرمایشی دیگری عمل میکند. علاوه بر این، میتوانیم فقط بخشهای مشخصی از دستگاه را گرم کنیم، بدون اینکه بقیه بخشهای دستگاه گرم شوند.
اما نکته مهم این است که این روش نیاز به دقت بیشتری دارد؛ زیرا رشتههای الکتریکی مورد استفاده در این دستگاهها بسیار گرم میشوند؛ بنابراین قرارگیری سنسورها باید دقیق باشد. اگر سنسورها کمی اشتباه قرار بگیرند، دستگاه قبل از اینکه بتواند دما را کنترل کند، به دمای مورد نظر خواهد رسید. این یک بازی دقتبرانگیز است.
اتاق کار ایمنتر
بهترین نکته این است که وقتی دیگر نیازی به صرف انرژی برای گرم کردن دیوارهای دستگاه نیست، میتوانیم از عایقهای ضخیم و سیستمهای خنککننده پرسروصدا استفاده نکنیم.
دستگاه کوچکتر میشود؛ ظاهر آن تمیزتر میشود؛ و مهمتر از همه، اپراتورها دیگر در معرض خطر سوختگی قرار نخواهند گرفت. شما کنترل کاملی بر دستگاه خواهید داشت، و دستگاهی ایمن برای استفاده خواهد بود.