در فرآیندهای گرمایشی نیمههادی، هر وات انرژی اتلافشده در واقع به معنای هدر دادن پول است. علاوه بر این، این گرمای اضافی میتواند باعث اختلال در کار دستگاهها یا آلوده شدن فرآیندهای تولید شود. به همین دلیل از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. به جای اینکه انرژی مادون قرمز وارد بدنه دستگاه شود، ما آن را به سمت محل مناسب خود، یعنی روی ویفر، هدایت میکنیم.
روش کار، بازتاب انرژی است.
منعکسکنندههای معمولی قابل استفاده هستند، اما آنها تشعشعات را پراکنده میکنند. اما طلا متفاوت است؛ آن به طور فوقالعادهای قادر به بازتاب طیف مادون قرمز است. بنابراین، بدنه منعکسکننده را با طلا پوشاندهایم تا فوتونها دوباره به سمت ویفر بازتاب شوند.
این روش باعث ایجاد یک پرتو گرمایی متمرکز میشود. بهترین نکته این است که میتوانید چگالی گرمایی بالاتری روی ویفر داشته باشید، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ لامپها باشد.
چرا طلا؟ چون اکسید نمیشود.
ما از طلا استفاده میکنیم، زیرا حتی در دماهای بسیار بالا نیز اکسید نمیشود. آلومینیوم نیز رایج است، اما با گذشت زمان لایه اکسیدی روی آن تشکیل میشود که باعث کاهش قدرت بازتاب آن میشود. اما طلا همواره درخشان باقی میماند؛ بنابراین میتواند چگالی گرمایی را حتی پس از هزاران بار استفاده، حفظ کند.
اما یک نکته مهم وجود دارد: باید به سیستم خنککننده دستگاه توجه کنید. وقتی این مقدار انرژی در یک نقطه کوچک متمرکز میشود، بدنه دستگاه تحت فشار قرار میگیرد. اگر فنها یا سیستمهای خنککننده مناسب نباشند، ممکن است بدنه دستگاه آسیب ببیند یا کانکتورها خراب شوند. لطفاً به مشخصات سیستم خنککننده توجه کنید.
در دنیای واقعی چگونه عمل میکند؟
ما این منعکسکنندهها را به عنوان جایگزین مناسب برای گرمکنهای موجود ویفرها طراحی کردهایم. هدف این است که انرژی بیشتری از سیستم استخراج شود. از آنجایی که تشعشعات کمتری اتلاف میشود، شما دو گزینه دارید: یا هزینه برق را کاهش دهید، یا دمای مورد نظر را سریعتر به دست آورید. همچنین، تأخیر حرارتی که بین فعال شدن دستگاه و رسیدن ویفر به دمای مورد نظر وجود دارد، کاملاً از بین خواهد رفت.
کنترل بهتر گرما، به معنای کاهش تعداد ویفرهای خراب شده در فرآیندهای گرمایشی است. این روش، روشی تمیزتر و سریعتر برای کار کردن است.