Hören Sie auf, die Luft zu erwärmen: Eine intelligente Methode, um Ihre Produktionsstätte zu entkarbonisieren
Wenn Sie die Ziele bezüglich der Kohlenstoffneutralität erreichen möchten, müssen Sie sich Ihre Heizsysteme genauer ansehen. Die meisten Produktionsstätten nutzen weiterhin Konvektionsheizung – was im Grunde genommen eine Verschwendung von Geld ist. Man gibt viel Energie aus, um eine ganze Raumluftschicht zu erwärmen, nur damit ein einzelner Wafer die richtige Temperatur erreicht. Das ist ineffizient.
Die Lösung ist einfacher, als man denkt: Wechseln Sie auf Infrarotheizung. Anstatt die Luft zu erhitzen, heizen Sie direkt das Substrat.
Der eigentliche Vorteil liegt in der Physik: Infrarotlampen wandeln Elektrizität in Strahlungswärme um. Dadurch können die teuren Lüfter und Wärmetauscher weggelassen werden. Da wir Kurzwellen-Infrarot verwenden, können Sie die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle erreichen. Kein langes Warten mehr auf die Erwärmung des Raums. Weniger Zeit zum Erhitzen bedeutet weniger Kilowattstunden pro Wafer. So einfach ist das.
Um dies in einer bestehenden Anlage umzusetzen, müssen die alten Widerstandselemente durch Quarz-Halogenröhren ersetzt werden. Wir passen die Röhren einfach dem jeweiligen Material an, mit dem Sie arbeiten. Selbst bei hohen Temperaturen kann man die benötigte Energie erhalten, ohne dabei mehr Platz einzunehmen.
Aber es ist nicht alles perfekt: Strahlungswärme ist gerichtet – daher ist eine präzise Ausrichtung wichtig. Wenn die Lampe ein paar Millimeter aus der richtigen Position ist, entstehen kühle Stellen auf dem Wafer. Auch bei der Nutzung von PID-Steuerungen muss man vorsichtig sein. Infrarot reagiert sehr schnell – wenn die Einstellungen falsch sind, kann das Substrat beschädigt werden.
Doch der Nutzen für die Umwelt ist enorm. Wenn man die Konvektionswärme nicht mehr in den Raum lässt, muss das HVAC-System nicht mehr so hart arbeiten, um die Temperaturen konstant zu halten. Die gesamte Anlage funktioniert effizienter, und der Energieverbrauch sinkt. Das ist wohl der schnellste Weg, um seinen Kohlenstoffausstoß zu reduzieren, ohne die gesamte Ausrüstung austauschen zu müssen.