Hören Sie auf, Energie an Ihren Wafern zu verschwenden!
Beim Bearbeiten von Wafern bedeutet jeder verschwendete Watt einfach Geld, das umsonst verloren geht. Noch schlimmer: Die verschwendete Energie führt oft zu einer ungleichmäßigen Erwärmung – was wiederum die Qualität der Wafern beeinträchtigt.
Deshalb verwenden wir IR-Reflektoren mit Goldbeschichtung. Das Ziel ist einfach: Die Hitze soll direkt auf die Wafer treffen und nicht in den Maschinenrahmen entweichen.
Warum Gold?
Sie sind vielleicht an herkömmliche Aluminiumreflektoren gewöhnt – doch diese saugen eine erstaunliche Menge an Energie auf. Wir nutzen stattdessen eine präzise Goldbeschichtung, denn Gold reflektiert Infrarotstrahlung viel besser. Es geht dabei nicht darum, dass die Maschine besonders attraktiv aussieht – es geht um Physik. Gold sorgt dafür, dass die Infrarotphotonen nahezu ohne Verlust reflektiert werden – dadurch entsteht ein viel intensiverer Wärmeausstrahlungspunkt.
Mehr Leistung pro Watt
Der eigentliche Vorteil: Aus jedem Watt erhält man deutlich mehr thermische Strahlung. Durch die Verwendung von Goldbeschichtungen wird die Strahlungsintensität auf den Wafern erhöht. Dadurch können Sie die gewünschten Temperaturen schneller erreichen. Sie können entweder die Leistung reduzieren, um Stromkosten zu sparen, oder die Arbeitszeiten verkürzen, um mehr Arbeit pro Tag zu erledigen.
Aber es gibt einen Haken: Da Gold die Hitze so effektiv bündelt, muss man vorsichtig sein. Die PID-Controller müssen präzise arbeiten. Wenn die Sensoren ungenau sind, kann es passieren, dass die Temperatur zu hoch wird und die Wafer beschädigt werden – bevor man überhaupt merkt, was passiert ist.
Die Reflektoren in Betrieb halten
Die gute Nachricht: Diese Reflektoren können problemlos als Ersatz für Ihre herkömmlichen IR-Reflektoren verwendet werden. Wir haben viel Zeit investiert, damit die Wärme gleichmäßig auf der gesamten Waferfläche verteilt wird.
Nur eine Sache: Halten Sie die Reflektoren sauber. Ein einziger Fingerabdruck oder etwas Staub auf der Goldoberfläche kann dazu führen, dass an bestimmten Stellen der Wafer keine Wärme ankommt – das zerstört die Qualität der Wafer. Verwenden Sie bitte nur zugelassene Lösungsmittel – sonst könnte das Gold von der Oberfläche abgelöst werden.