Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum wir Goldreflektoren verwenden
Seien wir ehrlich: Energieverschwendung bei der Verarbeitung von Wafern ist einfach ein Zeichen für schlechtes Design. Wenn man Hochleistungs-Infrarotlampen verwendet, gelangt nur ein kleiner Teil der Wärme tatsächlich auf das Substrat. Der größte Teil der Wärme entweicht an den Seiten oder wird zurückgestreut – dadurch wird die Luft in dem Raum erwärmt, anstatt das Produkt selbst. Hier kommt Gold ins Spiel.
Wir verwenden Goldbeschichtungen, weil sie hervorragend darin sind, Infrarotenergie zu reflektieren. Im Prinzip fungieren sie wie Spiegel für Wärme – sie leiten fast jede einzelne Watt-Einheit direkt auf die Wafer.
Der Schlüssel liegt in der Richtung der Energieabgabe.
Standard-Quarzlampen streuen die Wärme überallhin. Durch den Einsatz von Goldreflektoren ändern wir das. Da Gold über 98 Prozent der Infrarotenergie reflektiert, entsteht eine konzentrierte Wärmezone.
Das Beste daran: Man erhält eine viel höhere Wärmestärke auf der Wafer – ohne dass man mehr Energie aus dem Stromnetz benötigt. Man gibt also nicht einfach nur mehr Energie ins System, sondern lenkt die bereits vorhandene Energie in die richtige Richtung.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte:
Wir bauen diese Reflektoren so, dass sie auch unter extremen Bedingungen funktionieren. Die Goldschicht ist zwar dünn, doch sie ist fest mit dem Untergrund verbunden – dadurch blättert sie während der intensiven thermischen Belastungen nicht ab. Dadurch werden die Aufwärmzeiten deutlich kürzer.
Aber Achtung: Da die Energieabgabe so intensiv ist, muss man vorsichtig sein. Falls der PID-Zyklus etwas träge ist, könnte die Zieltemperatur überschritten werden. Man muss die Sensoren daher genau kalibrieren. Und bitte: Wirft man diese Reflektoren einfach in eine Geräte mit geringerer Leistung ein, ohne zunächst die Kühlungssysteme zu überprüfen, wird es sehr heiß – wirklich sehr heiß.
Was das für Ihre Anlagen bedeutet:
Wenn man Goldreflektoren verwendet, braucht man weniger Lampen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Das bedeutet, dass die Abmessungen des Geräts kleiner werden. Zudem muss das Klimasystem nicht mehr so hart arbeiten, um den Raum kühl zu halten.
Wir haben diese Reflektoren als Ersatz für bestehende Geräte entwickelt – damit Sie mehr Zeit sparen können. Dadurch entsteht ein stabileres Temperaturprofil auf der gesamten Waferfläche – und das alles mit weniger Energieverbrauch. Es ergibt einfach Sinn.