ফ্যাব ফ্লোরে, বেকিং প্রক্রিয়াটি কোনো “উষ্ণতা-সংগ্রহ” প্রক্রিয়া নয়; বরং এটা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ একটি ধাপ।
ওয়েফারে মাত্র অর্ধ ডিগ্রির পরিবর্তনও গুরুত্বপূর্ণ ডাইমেনশনগুলোকে প্রভাবিত করতে পারে; আর এর ফলে লাইন-ওয়াইডথ নিয়ন্ত্রণও নষ্ট হয়ে যায়। আপনার দরকার হলো নির্ভরযোগ্য তাপ; অর্থাৎ এমন তাপ যা নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ইনফ্রারেড হিটিং মডিউল ব্যবহার করি; এগুলো ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±0.1°C এর মধ্যে রাখে। এখানে দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল NIR সূত্রগুলো ব্যবহৃত হয়; যা ফোটোরেসিস্টের শোষণ ক্ষমতার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। এই ডিজাইনটি কোয়ার্টজ-মুক্ত; আর ফিলামেন্টগুলোর চারপাশে অপ্টিমাইজ করা হয়েছে। তাই এটা ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; আর কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। হিটেড জোনটি এমনভাবে তৈরি করা হয়েছে যাতে প্রক্রিয়া চেম্বারে কোনো গ্যাস বা দূষণ প্রবেশ না করে।
বেকিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ কেন গুরুত্বপূর্ণ?
বিভিন্ন ধরনের বেকিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। সলভেন্ট অপসারণের জন্য “সফ্ট বেকিং” এবং আঠালোতা/ইথিং প্রতিরোধের জন্য “হার্ড বেকিং” ব্যবহৃত হয়। এভাবে প্রতিটি লটই একই তাপমাত্রা পায়।
কেন এটা লাইনে গুরুত্বপূর্ণ?
এর ফলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় স্থিতিশীলতা বজায় থাকে; CD-এর সমানতা বজায় থাকে; আর উৎপাদন ক্ষমতাও বৃদ্ধি পায়। কঠোর তাপ-নিয়ন্ত্রণের ফলে ওয়েফারের অভ্যন্তরীণ ভিয়াস কমে যায়; আর রিওয়ার্কের প্রয়োজনও কমে যায়।
কী পরিকল্পনা করা উচিত?
এই মডিউলগুলোর জন্য পরিষ্কার বৈদ্যুতিক ও শীতলীকরণ ব্যবস্থা প্রয়োজন। স্থিতিশীল ভোল্টেজ এবং যথেষ্ট বায়ু প্রবাহ দরকার, যাতে ইমিটার উইন্ডোটি নির্ধারিত তাপমাত্রায় থাকে।
এগুলো বিদ্যমান কোটিং/বেকিং সিস্টেমে সহজেই সংযুক্ত হয়; কিন্তু আপনাকে আগে থেকেই এর জন্য পরিকল্পনা করতে হবে। আপনার নির্দিষ্ট ফোটোরেসিস্ট স্ট্যাকের জন্য র্যাম্প-রেট ও ওভারশুট সংশোধন করতে কিছুটা সময় লাগবে। একবার এটা ঠিক হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি স্থির থাকে এবং তাপমাত্রাও নির্ধারিত মানে থাকে।