লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, আপনি জানেন কি করতে হবে।
কিছু ডিগ্রি তাপমাত্রার পরিবর্তনই গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাকে প্রভাবিত করতে যথেষ্ট এবং একটি বড় সংখ্যক ওয়েফারকে স্ক্র্যাপে পরিণত করতে পারে। সফট বেক এবং হার্ড বেক শুধুমাত্র “গরম করার পদক্ষেপ” নয়। এগুলি হল সেই স্থান যেখানে আপনি দ্রাবক অপসারণ নিশ্চিত করেন, ফিল্মের চাপ পরিচালনা করেন এবং তাপীয় বাজেট সেট করেন যা নিচের এচ এবং ডিপোজিশন সহ্য করতে হবে। যখন সেই বেক প্রোফাইল বিচ্যুতি ঘটে, তখন আপনি স্কামিং, আঠা সংক্রান্ত সমস্যা এবং লাইন-এজ রাফনেস পান।
এখনও কি আসলে গুরুত্বপূর্ণ আমরা একটি নিকট ইনফ্রারেড (NIR) এমিটার বাল্ব ব্যবহার করছি যা দ্রুত, প্রত্যক্ষ বিকিরিত তাপ সরবরাহ করে কঠোর তাপ নিয়ন্ত্রণ সহ। স্পেকট্রামটি ফটোরেজিস্ট স্ট্যাক দ্বারা কার্যকরভাবে শোষিত হওয়ার জন্য টিউন করা হয়েছে, তাই আপনি সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা কমিয়ে আনেন এবং দ্রুত প্রতিক্রিয়া পান। ওয়েফারের মধ্যে, আমরা ±0.1°C সমানতা বজায় রাখি, তাই প্রতিটি ডাই একই বেক শর্ত দেখে। ক্লিনরুমের সামঞ্জস্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে: শূন্য কণা উৎপাদন সহ ক্লাস 1–100 অপারেশন, কম আউটগ্যাসিং কোয়ার্টজ উপাদান এবং সীলযুক্ত টার্মিনেশন দ্বারা সমর্থিত। এমিটার 24/7 স্থিতিশীল আউটপুট নিয়ে কাজ করে, এবং আমরা একই ইউনিটে 5,000+ ঘণ্টার মধ্যে 5% এর কম তীব্রতা হ্রাসের সাথে পুনরাবৃত্তি ট্র্যাক করি।
কেন এই পদ্ধতি বাস্তবে চলে সফট বেকে, NIR প্রোফাইল দ্রাবকগুলি দ্রুত বের করে দেয় তা ছাড়া ফিল্মের ত্বক কেটে ফেলে, যা পুনরায় কাজ কমায় এবং গুরুত্বপূর্ণ মাত্রার নিয়ন্ত্রণ উন্নত করে। হার্ড বেকে, ধারাবাহিক তাপমাত্রা প্রতিফলনকারী নচিং প্রতিরোধ করে এবং এচের দিকে আরও ভাল আঠা দেয়। এর ফলস্বরূপ কম স্ক্র্যাপ লট, স্থিতিশীল প্রক্রিয়া উইন্ডো এবং পূর্বাভাসযোগ্য যন্ত্রপাতির আপটাইম। আপনি শক্তিও সাশ্রয় করেন কারণ বিকিরিত তাপ সরাসরি রেজিস্টের দিকে লক্ষ্য করে, এবং দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়া বেকের সময় কমায় যা প্রোফাইলের অখণ্ডতা ক্ষুণ্ণ করে না।
আপনাকে সঠিকভাবে করার জন্য প্রয়োজনীয় ব্যবহারিক বিবরণ NIR এমিটারগুলি মাউন্টিং জ্যামিতি এবং ওয়েফারের দিকে দৃষ্টি নিবদ্ধ করার ক্ষেত্রে সংবেদনশীল। যখন অ্যারে টুল স্পেসিফিকেশন অনুযায়ী সঠিকভাবে সাজানো এবং স্থান দেওয়া হয়, তখন আপনি আরও শক্তিশালী সমানতা পাবেন। প্রাথমিক সংহতকরণের সময়, আপনাকে তাপীয় র্যাম্পের সাথে মেলে বেক রেসিপিটি পুনরায় টিউন করতে হতে পারে। নিম্ন আর্দ্রতা ক্লিনরুমে কাজ করার মানে হল যে আপনি ল্যাম্পটি পরিচালনা করার সময় স্থায়ী নিয়ন্ত্রণের প্রতি বেশি মনোযোগ দিতে হবে। নির্দিষ্ট ক্লিয়ারেন্সে ইনস্টল করুন এবং রেটেড ভোল্টেজ উইন্ডোর মধ্যে চালান, এবং এমিটার স্থিতিশীল, পুনরাবৃত্তিযোগ্য বেক পারফরম্যান্স সরবরাহ করে যা প্রক্রিয়াটিকে নিয়ন্ত্রণে রাখে।