红外 on Advanced IR Heating Technology

用于晶圆的精密红外传感器

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

别再让热量白白浪费在晶圆上了

在处理晶圆的过程中，每浪费一瓦特的能量，就意味着有金钱白白流失。更糟糕的是，这种能量浪费还会导致加热不均匀，进而影响产品的良率。

因此，我们使用镀金式的红外反射器。其目的很简单：确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是泄露到机器的机壳中。

红外发射器的陶瓷端盖

Fri, 24 Jul 2026 11:49:56 +0800

阻止热量泄漏：为何陶瓷端盖对红外发射器如此重要

如果想要降低半导体制造厂的碳足迹，首先就要解决热量问题。这听起来很简单，但在晶圆加工过程中，每一分被浪费的能量都意味着金钱和能源的流失。
这时，陶瓷端盖就派上用场了。
想想那些红外发射器吧。当使用高功率灯时，这些灯管的末端会释放大量热量。如果使用普通的金属端盖，它们就像海绵一样，只会吸收热量，而不会让热量发挥应有的作用。
我们用高纯度氧化铝陶瓷来替代它们。
事实上，陶瓷本身并不擅长传导热量。通过将它们放在电路的终端位置，可以有效地将热量限制在石英管内部。这样一来，更多的辐射能量可以直接作用于晶圆上。
这样，晶圆的温度就会上升，而机器的机身则能保持低温状态。这无疑是一种双赢的做法——因为无需再为防止热量流失而增加能耗，从而实现目标温度。这是减少洁净室总能耗的最简单方法之一。
不过，这并非简单到可以直接套用即可。选择合适的陶瓷材料需要经过精心考虑。虽然高氧化铝含量的陶瓷适合应对极端高温，但它比较脆。如果在布线过程中处理不当，就很容易导致芯片损坏。因此，我们必须仔细挑选合适的陶瓷材料，以确保其能够承受石英管的持续膨胀和收缩。否则，就可能会出现真空泄漏或灯丝损坏的问题。
此外，还有电气方面的考虑。在高压电路中，不能让发射器与接地壳体发生电弧放电现象。陶瓷端盖起到了隔离作用，确保电流不会乱窜。
对于“绿色工厂”的目标来说，还有一个隐藏的好处：由于陶瓷端盖能够有效集中热量，所以可以将灯管放置得更靠近目标区域，而不会损坏其他设备。这样一来，冷却系统的负担就会大大减轻。泵的负荷减少，流动的水量减少，能源消耗也会降低。所有这些加起来，就能带来显著的效果。

用于红外灯的铝制反射器

Sun, 19 Jul 2026 16:14:00 +0800

如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净室中工作时，温度只是需要考虑的因素之一。真正的问题在于空气中的颗粒物。

大多数普通的红外加热器在这种环境中简直就是灾难性存在——每次开关机时都会释放出大量的微小碎片。这无疑会破坏洁净环境。我们找到了更好的解决方案：将高纯度石英管与经过精密加工的铝制反射器结合在一起。

为什么材料如此重要？
我们选择高纯度的合成石英作为灯管材料。因为普通玻璃片会随着时间推移而结晶，从而产生微小的碎片，这些碎片会掉落在工作面上，污染环境。而合成石英则不会出现这种情况，其热膨胀率保持稳定，因此不会产生碎片。这样就能确保热量均匀分布，且不会造成污染。