与真空环境兼容的红外加热器

Mon, 27 Jul 2026 09:10:05 +0800

保持洁净：100级洁净室中的加热问题
如果你正在运营100级洁净室，那你应该很清楚其中存在的难题。哪怕有一粒灰尘或少量气体在加热过程中泄漏出来，整个生产批次的产品就会报废。
大多数普通的红外线灯并不适合用于这种环境。因为它们的涂层容易脱落，或者当温度达到峰值时，其粘合剂会开始释放气体。这无疑会破坏产品的质量。为了解决这个问题，我们会使用纯度极高的合成石英材料，这类材料在真空环境中也能正常工作。
秘诀就在于石英本身。
我们使用的是几乎不含杂质的熔融石英。为什么呢？因为我们希望确保灯具不会向产品表面释放任何颗粒物。在真空环境中，所选用的材料至关重要。我们去除了那些廉价灯具中常见的有机粘合剂和树脂——这些物质通常会在初次使用时就被烧掉。这样一来，就不存在奇怪的烟雾、薄膜堆积的问题，也不会有半导体晶圆或光学镜头被损坏的情况。
专为真空环境设计。
我们的灯具经过特殊设计，能够在真空环境下正常工作。我们使用专门的电极以及高品质的石英-金属密封装置来保证气密性。这里绝对没有便宜的胶水，所有的连接处都是通过机械方式固定或热熔在一起的。
此外，我们的设计也非常简单，没有容易积聚灰尘的角落或“死区”。同时，我们还将表面打磨得像镜子一样光滑。这样一来，在维护时清洁设备就变得十分容易。
需要注意的几点……
虽然高纯度石英能产生纯净的短波红外辐射，但它也相当脆弱。首先，千万不要用裸手触摸灯管。皮肤上的油脂会导致局部过热，从而加速灯管的损坏。另外，由于我们去掉了所有保护性涂层，这些灯具对热冲击更为敏感。因此，不能立刻打开电源，而应逐步增加功率。
还有一个建议：请使用耐高温的导线，并确保真空泵的功率足够强大，以应对初始加热阶段的需求。做到这一点，就没什么问题了。

真空室红外加热器

Wed, 22 Jul 2026 04:57:48 +0800

停止为真空腔体加热而烦恼吧！
如果你曾从事过半导体加工工作，那么你一定知道其中的难题。需要将晶圆加热到适当温度，但又不想让整个真空腔体变成一个烤箱。

普通的红外灯存在很大问题——它们会将热量散布到各个方向。大量能量会从晶圆上反射回来，然后击中腔体的内壁。很快，腔体内部就会变得非常热，甚至可能烫伤操作人员。此外，高温还可能导致设备框架变形。这真是个麻烦的问题。

真空 on Advanced IR Heating Technology

与真空环境兼容的红外加热器

真空室红外加热器