http://ir-heating-tech.com/zh/tags/%E7%83%98%E7%83%A4%E7%84%99/ Recent content in 烘烤；焙 on Advanced IR Heating Technology Hugo zh Sat, 27 Jun 2026 05:04:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/zh/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:04:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/zh/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="可控气氛烘烤灯"></p> <p><a href="https://o-yate.net">在光刻工厂</a>中，光刻胶固化或晶圆干燥过程中温度的波动不仅仅是一个规格问题——它还可能导致整个生产流程失败。传统的灯管会试图保持恒定的温度，但当环境条件发生变化时，就容易产生应力、污渍以及颗粒物，这些都会在缺陷检测中被发现。</p> <p><strong>从技术层面来看，重要的是什么？</strong> 我们使用的是具有短波卤素/石英元件的可控气氛烘烤灯，同时配备闭环温度控制系统，从而确保整个烘烤区域内的温度均匀性在±0.1°C以内。该设备还能将洁净室内的颗粒数量控制在1-100级水平，而灯管本身则不会产生任何颗粒物。其输出强度的重复性可维持在5,000小时以上，且强度波动率低于5%，因此无论哪一批产品，其软化烘烤和硬化烘烤的效果都能保持一致。</p> http://ir-heating-tech.com/zh/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/zh/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="光刻软烘加热元件"></p> <p>在光刻车间，软烘焙不仅仅是一个预热步骤。它是一个严格控制的热处理步骤，锁定溶剂含量，设定光刻胶粘附性，并直接影响线宽控制。半度的漂移可能会影响TMU，热点可能会在晶圆上形成重复缺陷。我们设计了加热元件，以消除热预算中的不确定性。</p>