晶圆加工设备用温度传感器

Fri, 17 Jul 2026 07:33:04 +0800

别再浪费能源了：为何要使用金反射器

说实话，如果在晶圆加工过程中浪费能源，那显然是一种糟糕的设计。
当使用高功率红外灯时，大部分热量并不会作用于晶圆上，而是会散失到周围或反弹回去，从而加热工作环境中的空气，而无法有效加热晶圆本身。这时，金反射器就派上用场了。
我们选择使用金涂层，因为它在反射红外能量方面表现最为出色。它就像一面镜子，能将几乎所有的热量直接照射到晶圆上。
关键在于方向控制。
普通的石英灯会将热量均匀地散播到各个方向。而通过添加金反射器，我们可以改变这一状况。由于金能反射超过98%的红外能量，因此可以形成集中的热源。
最棒的是，这样就能在不需要增加电力供应的情况下，让晶圆获得更高的温度密度。你并不是在输入更多的能量，而是将现有的能量引导到正确的方向上。
需要注意几点。
这些金反射器的结构非常坚固，虽然金层很薄，但它的粘附力很强，因此在高温环境下也不会脱落。这样一来，晶圆的加热速度就会大大提高。
不过，由于能量输出如此强烈，使用时必须格外小心。如果PID控制系统的响应速度较慢，就有可能使温度超出设定范围。此时就需要对传感器进行精确校准。另外，千万不要直接将这些部件安装在性能较差的设备上，因为其产生的热量非常高。
这对您的生产流程有何好处？
使用金反射器后，就不需要那么多灯来达到目标温度了。这样一来，设备的体积就可以缩小。此外，HVAC系统也不必那么努力地工作来保持室温。
我们设计这些产品是为了替代现有的设备，从而帮助您缩短生产周期。这样，整个晶圆上的温度分布会更稳定，而且所需的电能也更少。这显然是非常合理的。

高精度温度加热器

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤过程中温度漂移0.5°C，足以导致关键尺寸超出规格，报废整批晶圆。你不需要承诺，你需要一个能够持续稳定运行的温控平台，班班如一。

核心技术要点

加热器采用短波红外发射器和石英稳定的热核心设计。它能快速达到设定温度，并将晶圆级均匀性控制在±0.1°C以内。整套设备符合Class 1–100洁净室标准，颗粒产生量为零。

控制回路在24/7连续运行条件下，保持设定点重复性低于0.05%。这意味着软烘烤、硬烘烤和曝光后烘烤的热预算可被精准掌控，无超调，无热滞后。

温度 on Advanced IR Heating Technology

晶圆加工设备用温度传感器

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高精度温度加热器

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