http://ir-heating-tech.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Advanced IR Heating Technology Hugo zh Wed, 22 Jul 2026 04:43:45 +0800 http://ir-heating-tech.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:43:45 +0800 http://ir-heating-tech.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>红外加热与强制热风干燥：更有效的MEMS晶圆干燥方式<br> 如果您曾在MEMS工厂工作过，就知道其中的流程。在完成湿法蚀刻或清洗之后，必须去除晶圆上的水分。目前，许多旧式工厂仍然使用强制热风干燥的方式。虽然这种方法可行，但效率较低。</p>