Cảm biến nhiệt độ dùng cho dụng cụ xử lý wafer

Fri, 17 Jul 2026 07:32:28 +0800

Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Tại sao chúng ta lại sử dụng các tấm phản xạ bằng vàng?

Hãy thành thật mà nói: việc lãng phí năng lượng trong quá trình xử lý wafer chính là biểu hiện của việc thiết kế kém.

Khi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại công suất cao, một lượng lớn nhiệt lượng không chiếu trực tiếp vào bề mặt wafer. Nhiệt lượng này chỉ lan ra xung quanh hoặc bị phản xạ ngược lại, khiến không khí trong phòng bị nóng lên thay vì làm nóng wafer. Đây chính là lúc vàng phát huy tác dụng.

Bộ gia nhiệt nhiệt độ độ chính xác cao

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Trên sàn sản xuất, sự sai lệch 0.5°C trong quá trình nung photoresist có thể khiến kích thước quan trọng vượt khỏi giới hạn cho phép và làm hỏng toàn bộ lô hàng. Bạn không cần lời hứa, bạn cần một nền tảng nhiệt giữ ổn định, liên tục ca này sang ca khác.

Những yếu tố quan trọng bên trong

Chúng tôi xây dựng bộ gia nhiệt dựa trên bộ phát hồng ngoại sóng ngắn và lõi nhiệt được ổn định bằng thạch anh. Thiết bị đạt đến nhiệt độ cài đặt nhanh và giữ đồng đều trên bề mặt wafer trong giới hạn ±0.1°C. Bộ thiết bị đạt chuẩn phòng sạch Class 1–100 và không tạo ra hạt bụi.

Nhiệt Độ on Advanced IR Heating Technology

Cảm biến nhiệt độ dùng cho dụng cụ xử lý wafer

Bộ gia nhiệt nhiệt độ độ chính xác cao

Những yếu tố quan trọng bên trong