http://ir-heating-tech.com/vi/tags/mems/ Recent content in MEMS on Advanced IR Heating Technology Hugo vi Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800 http://ir-heating-tech.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800 http://ir-heating-tech.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Máy sấy wafer cảm biến MEMS"></p> <p><strong>Đun nóng bằng tia hồng ngoại so với sử dụng khí nóng ép: Phương pháp tốt hơn để sấy khô các tấm wafer MEMS</strong></p> <p>Nếu bạn từng làm việc trong các nhà máy sản xuất MEMS, chắc hẳn bạn đã biết quy trình này. Sau khi tiến hành quá trình ăn mòn hoặc làm sạch, cần phải loại bỏ hết độ ẩm trên bề mặt các tấm wafer. Hầu hết các nhà máy cũ vẫn sử dụng phương pháp dùng khí nóng ép để sấy khô. Phương pháp này hiệu quả, nhưng tốc độ lại khá chậm.</p>