Phát xạ hồng ngoại halogen thạch anh

Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800

Trên dây chuyền 300mm, không thể để lỏng tay trong quá trình soft bake. Chênh lệch chỉ 2°C trong hồ sơ nhiệt có thể làm lệch kiểm soát kích thước quan trọng (CD) ở mức nano mét. Biên độ này biến mất nhanh nếu nguồn nhiệt không duy trì được ±0,1°C trên toàn bộ wafer — hoặc nếu phát sinh hạt bụi buộc phải thực hiện bảo trì phòng ngừa không theo kế hoạch. Bộ phát hồng ngoại halogen thạch anh được thiết kế cho môi trường loại này, nơi chỉ chấp nhận duy trì thời gian hoạt động liên tục và độ lặp lại cao.

Halogen on Advanced IR Heating Technology

Phát xạ hồng ngoại halogen thạch anh