Trên dây chuyền 300mm, không thể để lỏng tay trong quá trình soft bake. Chênh lệch chỉ 2°C trong hồ sơ nhiệt có thể làm lệch kiểm soát kích thước...

Trên mặt sàn lithography, bạn đã biết quy trình. Sự biến động nhiệt độ chỉ một vài độ là đủ để làm sai lệch các kích thước quan trọng và biến rất...