لیتھوگرافی کے عمل میں، “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کو صرف “درجہ حرارت کے مراحل” کے طور پر نہیں دیکھا جاتا۔ دراصل یہ وہ عوامل ہیں جو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات، کریٹیکل ڈائمینشن کی یکسانیت، اور بالآخر پروڈکشن کے معیار کو متاثر کرتے ہیں۔ 1°C کا فرق، کسی گرم جگہ کی وجہ سے پیدا ہونے والی مشکلات، یا ہیٹر سے نکلنے والے ذرات، پروڈکشن کے معیار کو متاثر کر سکتے ہیں۔ ہم نے اپنے انفراریڈ ہیٹرز کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ ان سے اس خطرے کو کنٹرول کیا جاسکے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں
ہمارے نیئر-انفراریڈ ایمیٹرز تیزی سے گرمی پیدا کرتے ہیں، اور یہ گرمی ویفر کی سطح پر یکساں طور پر پھیلتی ہے – تقریباً ±0.1°C کے فرق کے ساتھ۔ یہ ڈیزائن کوارٹز سے پاک ہے، اور اس سے کم مقدار میں ذرات خارج ہوتے ہیں؛ اس طرح کلین روم میں ذرات کی تعداد کنٹرول میں رہتی ہے۔ 24 گھنٹوں کے دوران، درجہ حرارت میں تغیر ±0.3°C کے اندر رہتا ہے؛ اس طرح فوٹوریزسٹ کی خصوصیات ہر بار یکساں رہتی ہیں۔ یہ ہیٹرز معیاری ہاٹ پلیٹ فکسچرز میں استعمال ہوتے ہیں، اور موجودہ درجہ حرارت کنٹرول سسٹم کے ساتھ کام کرتے ہیں، بغیر کسی اضافی ترتیب کی ضرورت کے۔
حقیقی پروسیس میں اس کی اہمیت
“سافٹ بیک” کے عمل میں، حل کارک کو کنٹرول کیا جاتا ہے، جس سے باقی رہنے والا تناؤ کم ہوتا ہے، اور چپس کی چپکنے کی صلاحیت بہتر ہوتی ہے۔ “ہارڈ بیک” کے عمل میں، درجہ حرارت بالکل درست رہتا ہے، جس سے ریفلو کی مشکلات سے بچا جاسکتا ہے، اور چپس کی سطح صاف رہتی ہے۔ تیز رفتار حرارتی ردِعمل سے پروسیس کا وقت کم ہوتا ہے، اور کم توانائی کی ضرورت ہوتی ہے۔ اس کے نتیجے میں پروسیس مستحکم رہتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور مرمت کے وقفے بھی منصوبہ بند کیے جاسکتے ہیں۔
کچھ اہم باتیں
انفراریڈ ہیٹرز کے استعمال میں، پلیٹس کی ساخت اور ایمیشن کی سطح کا خیال رکھنا ضروری ہے۔ انسٹالیشن کے دوران، درجہ حرارت سینسر کی پوزیشن کو کیلیبریٹ کرنا ضروری ہے، اور انفراریڈ ونڈو کو صاف رکھنا بھی ضروری ہے – ورنہ درجہ حرارت میں تغیرات پیدا ہو سکتے ہیں۔ تبدیلی کے بعد، کیلیبریٹڈ تھرموکپل ویفر یا کسی دوسرے تھرمل مانیٹر کا استعمال کرکے پروسیس کی جانچ کرنا ضروری ہے۔